制备多孔氧化铝薄膜的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种新的制备多孔氧化铝薄膜的装置及其制备方法。该装置包括：有机玻璃基板，该有机玻璃基板在相邻的第一表面和第二表面的拐角处具有凹陷部，且所述有机玻璃基板具有与所述凹陷部相通的通孔；有机玻璃挡板，该有机玻璃挡板贴合在所述有机玻璃基板的所述第一表面上并在其中间具有通孔；模板，该模板具有至少一个贯穿该模板厚度方向的通孔且可活动地位于所述凹槽内；以及固定件，该固定件与通孔螺合，且在长度方向的长度要长于通孔的孔深度。通过使用该装置，可以很容易地在低温下进行电解，得到大面积大孔间距多孔氧化铝薄膜。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种制备多孔氧化铝薄膜的装置，其中，该装置包括：有机玻璃基板(1)，该有机玻璃基板(1)在相邻的第一表面(12)和第二表面(13)的拐角处具有凹陷部(2)，且所述有机玻璃基板(1)具有与所述凹陷部(2)相通的通孔(11)；有机玻璃挡板(3)，该有机玻璃挡板(3)贴合在所述有机玻璃基板(1)的所述第一表面(12)上并在其中间具有通孔(31)；模板(4)，该模板(4)具有至少一个贯穿该模板(4)厚度方向的通孔(41)且可活动地位于所述凹槽(2)内；以及固定件(5)，该固定件(5)与通孔(11)螺合，且在长度方向的长度要长于通孔(11)的孔深度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：智林杰，贾玉莹，罗彬，
申请(专利权)人：国家纳米科学中心，
类型：发明
国别省市：