【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显示设备领域，具体涉及超薄玻璃基板上导电膜的制备方法，以及LCD基板、液晶面板及液晶显不器件。
技术介绍
平板显示技术在近十年有了飞速地发展，从屏幕的尺寸到显示的质量都取得了很大进步。经过不断的努力，LCD各方面的性能已经达到了传统CRT的水平，大有取代CRT的 趋势。随着平板显示产品生产的不断扩大，各个生产厂商之间的竞争也日趋激烈。各厂家在不断提高产品性能的同时，也在不断努力降低产品的生产成本，从而提高市场的竞争力。柔性显示器件凭借其能够弯曲的特性可以胜任很多需要曲面显示的领域，如智能卡、电子纸、智能标签、以及传统显示器件所能适用的所有领域。并将在未来的显示产品市场中凭借其梦幻般的靓丽外观占领巨大的市场份额。目前主要的柔性显示是基于有机材料基板上制备的显示器件，如在聚酰亚胺薄膜、聚萘二甲酸乙二醇酯薄膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜等有机薄膜及其复合薄膜上制备的胆留相液晶显示器、电泳式显示器、有机电致发光显示器等。在柔性基板上制备显示元件，必须使制备的膜层具有较低的应力，这样才能使制备的器件具有柔韧性。传统的制造显示元件的设备往往需要基板在制备过程中保...
【技术保护点】
一种超薄玻璃基板上制备导电膜的方法，采用磁控溅射法，其特征在于，设定初始磁控溅射功率和/或初始氩气流量进行导电膜的沉积，通过设置在所述超薄玻璃基板上的压力传感器检测所述导电膜的膜层应力，根据检测到的所述膜层应力实时调整磁控溅射功率和/或氩气流量，使得所述膜层应力保持在不使所述超薄玻璃基板发生形变的范围内；其中，所述超薄玻璃基板的厚度小于等于0.1mm。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周伟峰，薛建设，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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