磁悬浮式定位平台制造技术

技术编号:8382963 阅读:237 留言:0更新日期:2013-03-06 23:55
本发明专利技术公开了一种磁悬浮式定位平台结构,它包括磁悬浮式平台基座,两组上定子绕组,两组下定子绕组线圈,运动平台,四块永磁阵列,三个柔性支撑,工作平台,永磁涡流阻尼器。两块永磁阵列安装在移动平台的下方,对称布置,与两组下定子绕组线圈作用,构成一组斥力型直线电机。另外两块永磁阵列安装在移动平台的上方,对称布置,位置同下方的两块永磁阵列错开九十度,与两组上定子绕组线圈作用,构成一组吸力型直线电机,两组电机同时作用实现平台的六自由度的运动。与直线电机直接作用的移动平台通过三个柔性支撑同工作平台连接。永磁涡流阻尼器安装在移动平台下方。本发明专利技术主要适用于大行程的纳米加工、定位、测量以及组装等微纳米制造领域。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
磁悬浮式定位平台,其特征在于工作平台和移动平台构成夹层结构。目的在于减小磁悬浮式定位平台空间体积,实现平台小型化。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:马树元谢虎王伟明闪明才黄杰宋谦
申请(专利权)人:北京理工大学
类型:发明
国别省市:

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