【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种运动传感器结构，包括：第一衬底，具有形成在其上的集成电路；第二衬底，在第一表面处与所述第一衬底接合，其中，所述第二衬底包括形成在其上的运动传感器；以及第三衬底，与所述第二衬底的第二表面接合，其中，所述第三衬底包括与运动传感器对准的凹进区域。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐家保，戴文川，洪嘉明，陈相甫，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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