图像生成装置制造方法及图纸

图像生成装置（1）包含：激光光源（3），其射出激光；激光输出控制部（11），其调制激光的强度；激光扫描仪（5），其扫描激光的向被测定物（A）的照射位置；调制图案控制部（15），其以对被测定物（A）照射多个空间调制图案的照明光的方式进行控制；电信号检测器（7），其检测对应于多个空间调制图案的照明光的照射而自被测定物（A）产生的电信号；电信号图像化部（17），其生成二维特性图像，该二维特性图像包含将与照明光的照射位置相关的照射位置信息、及与所检测出的信号的特性相关的特性信息建立对应的特性分布信息；及图像数据运算部（19），其以对应于多个空间调制图案而生成的多个特性图像为基础，生成被测定物（A）的图案图像。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及通过对被测定物照射空间调制后的光而生成图像的图像生成装置。
技术介绍
一直以来，使用对半导体器件等照射空间调制后的光并观察其结果所产生的图像的光学装置。例如，在下述专利文献I中，记载有将来自光源装置的光通过衍射光栅而照射至样品，且由C⑶相机对此时的样品图像进行摄像的光学装置。另外，该光源装置一边使衍射光栅以等速度在与衍射光栅的条纹垂直的方向上移动一边进行摄像而获取多个调制图像之后，对这些调制图像进行图像处理，由此形成样品的图像。另外，在下述专利文献2中，也公开有为了对样品照射空间调制后的光，在照明光的光路中配置SLM(Spatial LightModulator,空间光调制器)的显微镜装置。专利文献专利文献I :日本特开2001-117010号公报专利文献2 日本特开2007-199572号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题然而，在上述现有的图像生成用的装置中，对样品照射空间调制后的光，并通过包含物镜或成像透镜等的光学系统对其结果所产生的样品的图像进行摄像，因此在提高最终生成的样品的二维图像的分辨率的方面产生极限。即，样品的二维图像的分辨率存在上限值由光学系统的光学性能、二维摄像装置的像素分辨率及灵敏度决定的趋势。因此，本专利技术是有鉴于该问题而完成的专利技术，其目的在于提供一种可以简单的装置构成而获取提高了分辨率的样品的图案图像的图像生成装置。解决问题的技术手段为了解决上述问题，本专利技术的一个方面所涉及的图像生成装置是生成被测定物的图像的图像生成装置，包含激光光源，其射出激光；激光调制部，其调制激光的强度；激光扫描部，其扫描激光的向被测定物的照射位置；控制部，其控制激光调制部及激光扫描部，以对被测定物照射多个空间调制图案的照明光；检测部，其检测对应于多个空间调制图案的照明光的照射而自被测定物产生的信号；信号生成部，其生成将与由控制部控制的照明光的照射位置相关的照射位置信息、及与对应于照射位置上的激光的照射而由检测部所检测出的信号的特性相关的特性信息建立对应的特性分布信息，且对应于空间调制图案而生成包含多个特性分布信息的二维特性图像；及图像处理部，其以对应于多个空间调制图案而生成的多个二维特性图像为基础，生成被测定物的图案图像。根据这样的图像生成装置，自激光光源发出的激光，通过激光调制部而调制其强度，同时，一边通过激光扫描部扫描向半导体器件或生物样品等的被测定物的照射位置，一边照射至被测定物。此时，一边通过控制部控制激光调制部及激光扫描部以对被测定物照射多个二维空间调制图案的照明光，一边通过检测部检测自被测定物产生的信号。再有，通过信号生成部，对应于各个空间调制图案而生成将与照明光的照射位置相关的信息、及与对应于该照射位置上的照明光的照射而检测出的信号的特性相关的信息建立对应的特性分布信息，并且对应于各个空间调制图案而生成二维特性图像，通过图像处理部，以多个二维特性图像为基础而生成被测定物的图案图像。由此，由于在自被测定物获取图案图像时不需要通过包含物镜或成像透镜等的光学系统，因此，可容易地提高样品的图案图像的分辨率。除此之外，可容易地变更照射至被测定物的照明光的空间调制图案的相位及方向，从而可快速地获取所期望的位置及方向的高分辨率图像。专利技术的效果 根据本专利技术，可以简单的装置构成获取提高了分辨率的样品的图案图像。附图说明图I是表示本专利技术的第I实施方式所涉及的图像生成装置的构成的方块图。图2是表示通过图I的调制图案控制部规定的照明光的空间调制图案的概念图。图3是表示通过图I的调制图案控制部规定的照明光的空间调制图案的概念图。图4是表示通过图I的调制图案控制部规定的照明光的空间调制图案的概念图。图5是表示本专利技术的第2实施方式所涉及的图像生成装置的构成的方块图。图6是表示图5的图像生成装置的光信号检测器的周边的详细构成的概略构成图。图7是表示本专利技术的第3实施方式所涉及的图像生成装置的构成的方块图。图8是表示图7的图像生成装置的光信号检测器的周边的详细构成的概略构成图。图9是表示作为本专利技术的变形例的光学系统的概略构成图。图10是表示作为本专利技术的变形例的激光光源的概略构成图。具体实施例方式以下，参照附图，详细地说明本专利技术所涉及的图像生成装置的优选的实施方式。再者，在附图的说明中，对相同或相当部分附上相同符号，省略重复的说明。[第I实施方式]图I是表示本专利技术的第I实施方式所涉及的图像生成装置I的构成的方块图。图I所示的图像生成装置I是用于对作为半导体器件等的电气元件的被测定物基于多个空间调制图案而扫描照明光，检测对应于此而自被测定物A产生的电信号的多个特性分布，并以这些多个特性分布为基础而获取被测定物的高分辨率图案图像的装置。该图像生成装置I包含激光光源3，其射出激光；激光扫描仪(激光扫描部)5 ;电信号检测器(检测部)7，其检测自被测定物A产生的电信号；光学系统9，其将来自激光光源3的激光引导至被测定物A ;激光输出控制部(激光调制部)11，其控制激光光源3的输出强度；扫描仪控制部13，其控制激光扫描仪5的动作；调制图案控制部15，其控制照射至被测定物A的空间调制图案；电信号图像化部(信号生成部)17，其将通过电信号检测器7而检测出的电信号的电气特性图像化；及图像数据运算部(图像处理部)19，其使用通过电信号图像化部17所生成的图像化信号而生成被测定物A的图案图像。详细而言，光学系统9由中继透镜21、镜23及物镜25构成。中继透镜21是用于将通过激光扫描仪5而使照射角度发生偏向的激光效率良好地引导至物镜25的光学系统，且具有通过将物镜25的射出光瞳投影于激光扫描仪5的反射面而使激光扫描仪5上反射的激光可靠地到达物镜25的作用。在此，也可不使用镜23。激光扫描仪5是通过变更激光的行进方向而二维地扫描其照射位置的光学装置。SP，激光扫描仪5通过变更向中继透镜21入射的激光的入射角度而在被测定物A的表面上二维地扫描通过光学系统9而照射的激光的照射位置。作为这样的激光扫描仪5，可采用具有彼此的旋转轴正交的2个镜且可电性控制其旋转角的检流计镜。此外，作为激光扫描仪5,也可米用多角镜(polygon mirror)、MEMS(Micro ElectroMechanical System,微机电系统)镜、AOD (声光偏转器)、共振扫描仪(共振型检流计扫描仪)、E0扫描仪(电光偏转器)等。·在此，自激光光源3所输出的激光的强度被构成为，能够通过来自与激光光源3连接的激光输出控制部11的控制信号而进行调制，取决于激光扫描仪5的激光的被测定物A的表面的照射位置被构成为，能够通过来自与激光扫描仪5连接的扫描仪控制部13的控制信号而变更。再有，在激光输出控制部11及扫描仪控制部13连接有调制图案控制部15，通过调制图案控制部15而控制激光输出控制部11及扫描仪控制部13，以基于所预先决定的多个空间调制图案而对被测定物A扫描照明光。其次，参照图2 图4，对通过调制图案控制部15规定的照明光的空间调制图案进行例示。在图疒图4中，表示通过调制图案控制部15所规定的空间调制图案的相对于被测定物A的照射状态。如图2所示，首先，调制图案控制部15以沿着作为沿着被测定物A的平面的规定方向的X轴方向使激光的照射位置移动的方式进行控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.06.23 JP 2010-1428821.一种图像生成装置，其特征在于， 其是生成被测定物的图像的图像生成装置， 包含 激光光源，其射出激光； 激光调制部，其调制所述激光的强度； 激光扫描部，其扫描所述激光的向所述被测定物的照射位置； 控制部，其控制所述激光调制部及所述激光扫描部，以对所述被测定物照射多个空间调制图案的照明光； 检测部，其检测对应于所述多个空间调制图案的照明光的照射而自所述被测定物产生的信号； 信号生成部，其生成将与由所述控制部控制的所述照明光的照射位置相关的照射位置信息、及与对应于所述照射位置上的所述激光的照射而由所述检测部所检测出的信号的特性相关的特性信息建立对应的特性分布信息，且对应于所述空间调制图案而生成包含多个所述特性分布信息的二维特性图像；及 图像处...

【专利技术属性】
技术研发人员：寺田浩敏，岩城吉刚，中村共则，高桥辉雄，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：
国别省市：