通过迭代的空间谐波阶次截断的计算效率制造技术

描述了一种用于改善针对光学计量中的衍射信号的计算效率的方法。该方法包括：对针对光栅结构的空间谐波阶次集合进行仿真。基于第一图案来截断所述空间谐波阶次集合以提供空间谐波阶次的第一截断集合。基于第二图案通过迭代过程来修改所述空间谐波阶次的第一截断集合以提供空间谐波阶次的第二截断集合，所述第二图案不同于所述第一图案。最后，仿真光谱基于空间谐波阶次的第二截断集合来提供。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施方式属于光学计量领域，并且更特别地，涉及在生成仿真衍射信号时使用的空间谐波阶次数量的选择，该仿真衍射信号在光栅结构的光学计量测量、处理或仿真中使用。
技术介绍
在过去的几年里，严格耦合波分析(RCWA)和类似的算法已经被广泛用于衍射结构的研究和设计。在RCWA方法中，周期性结构的轮廓(profile)由给定数量的足够薄的平面光栅板(slab)来近似。具体地，RCWA涉及三个主要的步骤，S卩，光栅内部的电场和磁场的傅里叶展开、表征衍射信号的常系数矩阵的特征值和特征向量的计算、以及从边界匹配条件中推断出的线性系统的求解。RCWA将问题划分成三个不同的空间区域1)支持入射面波场和所有反射的衍射阶次的总和的周围(ambient)区域，2 )光栅结构和下面的非图案层，其中 波场被视为与每个衍射阶次相关联的模式的叠加，以及3)包括所传送的波场的衬底。在大体上满足能量守恒的情况下，RCWA求解的精度部分地取决于在波场的空间谐波展开中保留的项数。所保留的项数是在计算期间所考虑的空间谐波阶次数量的函数。针对给定的假设的轮廓的仿真衍射信号的有效生成涉及在每个波长处为衍射信号的横向磁力(本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.05.21 US 12/785,3101.一种用于改善针对光学计量中的衍射信号的计算效率的方法，该方法包括 对针对光栅结构的空间谐波阶次集合进行仿真； 基于第一图案来截断所述空间谐波阶次集合以提供空间谐波阶次的第一截断集合；基于第二图案，通过迭代过程对所述空间谐波阶次的第一截断集合进行修改以提供空间谐波阶次的第二截断集合，所述第二图案不同于所述第一图案；以及基于所述空间谐波阶次的第二截断集合提供仿真光谱。2.根据权利要求I所述的方法，其中对所述空间谐波阶次的第一截断集合进行修改包括减去一个或多个单独的空间谐波阶次，以提供所述空间谐波阶次的第二截断集合，其中所述第二图案小于所述第一图案。3.根据权利要求I所述的方法，其中对所述空间谐波阶次的第一截断集合进行修改包括增加一个或多个单独的空间谐波阶次，以提供所述空间谐波阶次的第二截断集合，其中所述第二图案大于所述第一图案。4.根据权利要求I所述的方法，其中所述第一图案是无转角的，并且从由圆形和椭圆形组成的组中进行选择。5.根据权利要求I所述的方法，该方法还包括 在进行所述仿真之后且在进行所述截断之前，对所述空间谐波阶次集合中的所述空间谐波阶次区分优先次序，其中截断所述空间谐波阶次集合以提供所述空间谐波阶次的第一截断集合是基于所述优先次序的。6.根据权利要求I所述的方法，该方法还包括 将所述仿真光谱与样本光谱进行比较。7.一种用于改善针对光学计量中的衍射信号的计算效率的方法，该方法包括 对针对光栅结构的空间谐波阶次集合进行仿真； 基于第一图案来截断所述空间谐波阶次集合以提供空间谐波阶次的第一截断集合；基于第二图案，通过迭代过程从所述空间谐波阶次的第一截断集合中减去一个或多个单独的空间谐波阶次，以提供空间谐波阶次的第二截断集合，所述第二图案不同于所述第一图案； 基于第三图案，通过迭代过程增加一个或多个单独的空间谐波阶次到所述空间谐波阶次的第二截断集合，以提供空间谐波阶次的第三截断集合，所述第三图案不同于所述第一图案和第二图案；以及 基于所述空间谐波阶次的第三截断集合提供仿真光谱。8.根据权利要求7所述的方法，其中所述第一图案是无转角的，并且从由圆形和椭圆形组成的组中进行选择。9.根据权利要求7所述的方法，该方法还包括 在进行所述仿真之后且在进行所述截断之前，对所述空间谐波阶次集合中的所述空间谐波阶次区分优先次序，其中截断所述空间谐波阶次集合以提供所述空间谐波阶次的第一截断集合是基于所述优先次序的。10.根据权利要求7所述的方法，该方法还包括 将所述仿真光谱与样本光谱进行比较。11.一种具有存储在其上的指令的机器可访问存储介质，所述指令促使数据处理系统执行用于改善针对光学计量中的衍射信号的计算效率的方法，该方法包括 对针对光栅结构的空间谐波阶次集合进行仿真； ...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·维德曼，J·J·亨奇，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，克拉坦科股份有限公司，
类型：
国别省市：