当前位置: 首页 > 专利查询>北京大学专利>正文

一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法技术

技术编号:8365876 阅读:167 留言:0更新日期:2013-02-28 02:25
本发明专利技术涉及一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法,该MEMS压阻式压力传感器包括应变膜和压敏电阻,应变膜的正面边缘分布有岛结构,压敏电阻位于所述岛结构上。在制备时基片正面岛结构的制作在背腔各向异性腐蚀之前,避免正面制作岛结构时应变膜出现崩裂。本发明专利技术的压力传感器同时具有高灵敏度和高线性度,其制备方法与传统工艺兼容,成品率高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种MEMS压阻式压力传感器,包括应变膜和压敏电阻,其特征在于,所述应变膜的正面边缘分布有岛结构,所述压敏电阻位于所述岛结构上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄贤张大成赵丹淇何军杨芳田大宇刘鹏王玮李婷罗葵
申请(专利权)人:北京大学
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1