【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MEMS压阻式压力传感器,包括应变膜和压敏电阻,其特征在于,所述应变膜的正面边缘分布有岛结构,所述压敏电阻位于所述岛结构上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:黄贤,张大成,赵丹淇,何军,杨芳,田大宇,刘鹏,王玮,李婷,罗葵,
申请(专利权)人:北京大学,
类型:发明
国别省市:
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