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一种异质结纯电阻-二极管复合温度计制造技术

技术编号:8365859 阅读:399 留言:0更新日期:2013-02-28 02:20
本发明专利技术涉及一种异质结纯电阻-二极管复合温度计,采用Co/CoO-ZnO/Ag异质结,该异质结中Co为下电极,Ag为上电极,CoO-ZnO为复合绝缘层。在测量时,把异质结的Ag、Co上下电极和外电路测量仪表相连接,当电压银正、钴负时异质结处于低阻态,利用低电阻状态时的金属导电特性对应的R-T曲线测量高温;当电压是银负、钴正时异质结处于高组态;利用高电阻状态时的半导体导电特性对应的R-T曲线测量低温,测量温度范围5K-300K。本发明专利技术的温度计可测量温度范围宽,在大范围内均能保证同样的测量精度。对温度的响应时间快且很灵敏,可用于微米级物体的温度测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种异质结纯电阻-二极管复合温度计,属于半导体材料与器件领域。
技术介绍
现有的温度计可测量的温度范围通常比较窄,当要测量宽范围温度的情况下,必须准备几个温度计用于不同范围的温度测量。因此制备一种可以同时精确测量高低温度的温度计将给各种复杂情况下温度测量带来极大的方便。CN200510011171. 5 (CN1632484A)提供了一种基于无序多壁碳纳米管一异质结的温度传感器,包括绝缘绝热管,填充在绝缘绝热管内的多壁碳纳米管粉末柱,设置在多壁碳纳米管粉末柱一端且与碳纳米管粉末柱紧密接触形成碳纳米管一金属异质结的金属温度 探头以及封压在碳纳米管粉末柱另一端的导电金属块。工作时,先把电极和外电路测量仪表相连接,然后将金属温度探头与被测物体相接触,这样,由于碳纳米管一金属异质结的存在,电路中会产生随温度变化的热致电流,可测量温度范围宽,在大范围内均能保证同样的测量精度,对温度的响应时间快。研究发现,金属/绝缘体/金属(MM)结构中会由于氧化还原反应导致明显的电致阻变现象。但该理论研究尚未有应用于温度计的产品开发的报道。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本专利技术提供一种基于本文档来自技高网...

【技术保护点】
异质结纯电阻?二极管复合温度计,其特征在于采用Co/CoO?ZnO/Ag异质结,该异质结中Co为下电极,Ag为上电极,CoO?ZnO为复合绝缘层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:颜世申李强沈婷婷曹艳玲张昆代正坤刘国磊陈延学梅良模
申请(专利权)人:山东大学
类型:发明
国别省市:

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