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改变锡掺杂比例制备一维纳米结构氧化锌的方法技术

技术编号:8363759 阅读:184 留言:0更新日期:2013-02-27 20:49
本发明专利技术涉及一种采用改变锡掺杂比例制备多种形貌的一维纳米结构氧化锌的方法。该方法采用氧化锌、二氧化锡和碳粉作为反应源,采用碳热还原法,以镀有Au膜的Si(100)为衬底,化学气相沉积制备了锡掺杂的一维ZnO纳米结构,同时通过改变锡掺杂比例制备多种形貌的一维氧化锌纳米结构。本方法过程简单,系统地研究了随着锡掺杂比例的变化,氧化锌纳米结构从最初的纳米线阵列,变化为表面有颗粒状沉积的树枝状纳米线,随后演变为纳米带的形貌变化过程。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种改变锡掺杂比例制备一维结构纳米氧化锌的方法,其特征在于该方法的具体步骤为:a.?将经预处理后的单面抛光的100硅片,采用热蒸发方法在硅片表面蒸镀Au膜;b.?采用化学气相沉积法,将石墨粉、氧化锌和二氧化锡按照10:?9:?1的质量比充分混合后,以35?70?sccm的流速通入氩气和以1?2?sccm的流速通入氧气,保持400?mbar的真空度,然后以20?30?℃/min升至900?950℃后保温30分钟,温度降至室温,得到一维结构纳米氧化锌。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李珍李翠康维君林栋潘登余吴明红
申请(专利权)人:上海大学
类型:发明
国别省市:

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