低温熔化的无铅铋密封玻璃制造技术

包括Bi2O3、ZnO、B2O3以及任选的着色剂的玻璃适于形成太阳能电池模块、建筑玻璃窗和MEMS装置中的气密密封，所述着色剂包括诸如铁、钴、锰、镍、铜和铬等金属的氧化物。玻璃料和膏组合物适于在450-500℃范围内的温度下流动和粘结至各种基板-玻璃、金属、硅。宽组成范围以摩尔%计为25-70%的Bi2O3、最高至65%的ZnO和1-70%的B2O3。这样的玻璃没有批量的氧化铝和二氧化硅，该玻璃没有氧化铝和二氧化硅。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及Bi2O3-ZnO-B2O3体系的玻璃粉末。该玻璃具有低的熔点，且提供良好的流动特性，且具有低和可调的结晶趋势。
技术介绍
微型电机系统(MEMS)装置是进行工作或测量的微型机械如加速计、速率传感器、制动器、压力传感器等。信号线将MEMS装置电连接至微处理器和/或其它电路。MEMS装置受到湿气、脏空气、灰尘和其它外来物质进入机械且引起过早损坏或者其它阻碍MEMS装置操作的可能性的损害。通常使用丝网印刷施加MEMS装置制造中使用的密封玻璃组合物，在丝网印刷中， 密封玻璃组合物以含有颗粒玻璃料(包括用于膨胀改性的结晶添加剂)、触变粘合剂和粘合剂用溶剂的膏的形式沉积。调节玻璃料、添加剂、粘合剂和溶剂的比例以允许受控体积的膏丝网印刷在晶片之一的粘结表面上，通常是盖晶片上。在干燥之后，烧掉粘合剂和预成釉会将所有的有机组分从玻璃料粘结膏中去除，将硅晶片和装置硅晶片对准，然后配对使得玻璃料颗粒接触互补的粘结表面。然后将晶片逐渐增加加热至通过所述玻璃料再熔融、流动和赋予晶片表面润湿性，从而在冷却时，将玻璃料再固化以在所述晶片之间形成基本均匀的玻璃粘结线。在MEMS粘结中，需要低的煅烧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：斯里尼瓦桑·斯里德哈兰，约翰·J·马洛尼，钱德拉谢卡尔·S·卡迪尔卡，罗伯特·P·布隆斯基，戴维·L·维德莱夫斯基，
申请(专利权)人：费罗公司，
类型：
国别省市：