【技术实现步骤摘要】
本技术涉及可提供动力的气动装置
，尤其涉及一种气动装置及真空检测设备。
技术介绍
液晶显示面板是由阵列基板和彩膜基板对盒后填充液晶而形成，其中阵列基板是单独制作而成，通常在制作完阵列基板后，为了检测阵列基板的一些性能是否符合要求，还需要利用真空检测设备对阵列基板进行检测。真空检测设备包括真空腔室，真空腔室的内部设有放置阵列基板的上平台，上平台通过运动机构的动作可以在真空腔室内分别沿X、Y、Z这三个互相垂直的方向运动，其中，沿X、Y方向的运动为平面运动，且通过运动机构中的电机来驱动运动机构的水平运动；沿Z方向的运动为上下运动，且通过运动机构中的气缸来驱动运动机构的上下运动，供给气缸运动的气源装置通过软管将气体输送到气缸内部，由于气源装置位于真空腔室的下部，因此软管从真空腔室的下部经过较长的距离与气缸连接，当运动机构进行平面运动时(X方向或Y方向)软管会随之产生比较复杂的空间运动，如软管会产生扭曲、折叠、挤压、拉长等破坏性动作，这样可使得软管比较容易磨损、折裂等损害，不利于气体的正常输送，而且还可能发生漏气，破坏真空腔室内的真空环境，从而影响真空检测设备检测的...
【技术保护点】
一种气动装置，其特征在于，包括第一导轨，所述第一导轨上设有可滑动的第二导轨，所述第二导轨上设有可滑动的第一平台，所述第一平台上通过气缸连接有第二平台；所述第一导轨与所述第二导轨之间沿所述第一导轨的方向连接有可伸缩的第一气管，且所述第一导轨设有连通所述第一气管和气源装置的第一管道；所述第二导轨与所述第一平台之间沿所述第二导轨的方向连接有可伸缩的第二气管，且所述第二导轨设有连通所述第一气管和所述第二气管的第二管道，所述第二气管与所述气缸的进气端的连通。
【技术特征摘要】
1.一种气动装置，其特征在于，包括第一导轨，所述第一导轨上设有可滑动的第二导轨，所述第二导轨上设有可滑动的第一平台，所述第一平台上通过气缸连接有第二平台；所述第一导轨与所述第二导轨之间沿所述第一导轨的方向连接有可伸缩的第一气管，且所述第一导轨设有连通所述第一气管和气源装置的第一管道；所述第二导轨与所述第一平台之间沿所述第二导轨的方向连接有可伸缩的第二气管，且所述第二导轨设有连通所述第一气管和所述第二气管的第二管道，所述第二气管与所述气缸的进气端的连通。2.根据权利要求I所述的气动装置，其特征在于，所述可伸缩的第一气管和/或所述可伸缩的第二气管为金属波纹管。3.根据权利要求I或2所述的气动装置，其特征在于，所述第一导轨和所述第二导轨分别通过第一连接法兰连接所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭世波，朱承达，陈庆友，刘静，孙纬伟，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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