【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种便携式倾斜照明结构杂散光检测装置,属于光学检测
技术介绍
目前,在高精尖的光学系统中,杂散光直接影响了系统的性能,而作为光学系统重要组成部分的光学透镜,其光洁度也一直影响着系统中杂散光的水平,但对于光学透镜的杂散光检测问题还没有直接的解决方法。通常是利用原子力显微镜等微观检测仪器进行表面微观检测,或者利用积分球等设备将透镜装配到镜头中以后再进行系统检测,这些方法都有成本高、设备便携性差和效率低等诸多缺点。系统杂散光问题也已经成为高端光学系统继续发展的瓶颈。
技术实现思路
本专利技术为解决现有技术对光学系统杂散光检测方法成本高、设备便携性差及效率低的问题,本专利技术提供一种便携式倾斜照明结构杂散光检测装置。本专利技术是通过以下技术方案实现的一种便携式倾斜照明结构杂散光检测装置,该装置由照明系统、有限远距离成像系统和CXD系统组成;有限远距离成像系统的物方位置为待检透镜表面,像方位置放置CXD系统,且待检透镜、有限远距离成像系统和CCD系统同轴放置,照明系统的出射光以倾斜角度入射到待检透镜上,光被待检透镜聚焦后焦点在有限远距离成像系统之外,照明系统的部分光被待检透镜表面散射点散射,散射后的光线由有限远距离成像系统成像在CCD系统上。本专利技术的有益效果本专利技术装置照明系统提供平行光,光束沿与待检透镜的光轴成一定角度方向入射到待检透镜表面,倾斜的照明光被待检透镜聚焦到有限远距离成像系统之外,以免影响检测观察;部分光入射到待检透镜的杂散点上被散射,形成散射光,散射光再经有限远距离成像系统成像在CXD系统上,从而实现待检透镜的杂散光检测, ...
【技术保护点】
一种便携式倾斜照明结构杂散光检测装置,其特征是,该装置由照明系统(1)、有限远距离成像系统(3)和CCD系统(4)组成;有限远距离成像系统(3)的物方位置为待检透镜(2)表面,像方位置放置CCD系统(4),且待检透镜(2)、有限远距离成像系统(3)和CCD系统(4)同轴放置,照明系统(1)的出射光以倾斜角度入射到待检透镜(2)上,光被待检透镜(2)聚焦后焦点在有限远距离成像系统(3)之外,照明系统(1)的部分光被待检透镜(2)表面散射点散射,散射后的光由有限远距离成像系统(3)成像在CCD系统(4)上。
【技术特征摘要】
1.一种便携式倾斜照明结构杂散光检测装置,其特征是,该装置由照明系统(I)、有限远距离成像系统(3)和CXD系统(4)组成;有限远距离成像系统(3)的物方位置为待检透镜(2)表面,像方位置放置CXD系统(4),且待检透镜(2)、有限远距离成像系统(3)和CXD系统(4)同轴放置,照明系统(I)的出射光以倾斜角度入射到待检透镜(2)上,光被待检透镜(2...
【专利技术属性】
技术研发人员:张红鑫,孙明哲,卜和阳,卢振武,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:
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