用于制造压电执行器的方法和压电执行器技术

本发明专利技术涉及一种用于制造具有压电堆叠（1）和布置在压电堆叠（1）的外侧处的两个外电极（2、3）的压电执行器（100）的方法。本发明专利技术的方法包括以下步骤：提供由多个交替地相继的未烧结膜（4’、5’）和连续的内电极层（6、7）构成的全活性的未烧结堆叠（1’），所述内电极层被设置用于交替地与要布置在要由未烧结堆叠（1’）制造的压电堆叠（1）的外侧处的两个外电极（2、3）电连接并且与相应的另外的外电极（2、3）电绝缘；使所述全活性的未烧结堆叠（1’）的外侧在如下区域中配备沟槽（8、9），在所述区域中内电极层（6、7）应与相应的外电极（2、3）电绝缘，从而沟槽（8、9）使内电极层（6、7）在所述区域中从未烧结堆叠（1’）的外侧向内缩短；用电绝缘的膏泥（10、11）填充沟槽（8、9）；继续处理其沟槽（8、9）用膏泥（10、11）填充的未烧结堆叠（1’），使得由未烧结膜（4’、5’）形成压电层（4、5）并且由未烧结堆叠（1’）形成压电堆叠（1）；将两个外电极（2、3）施加到压电堆叠（1）的外侧上，使得两个外电极（2、3）交替地与内电极层（6、7）电连接。本发明专利技术方法的特征在于，沟槽（8、9）通过如下方法之一用膏泥（10、11）填充：丝网印刷、浸渍、喷涂或者真空渗透。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于制造压电执行器的方法以及一种压电执行器。
技术介绍
由相叠地堆叠的压电元件构成的器件称为(压电)堆叠。压电元件的功能基于例如锆钛酸铅的压电陶瓷材料的变形和电场的作用。如果将电压施加到压电元件，则该压电元件在垂直于由电压产生的电场的方向上扩展。单个压电元件具有比较小的调节行程(Stellweg)，因此对于较大的调节行程使用由多个交替地相继的压电层和所谓的内电极层构成的压电堆叠。内电极层通常交替地与布置在压电堆叠的相对的外面处的外电极电连接。与两个 外电极之一电连接的内电极层因此引至在其处布置有该外电极的外侧以与该外电极电连接。为了内电极层与另一外电极电绝缘，内电极层不达到压电堆叠的、在其处布置有该另一外电极的外侧。在该区域中，内电极层从该外侧缩回。这例如通过如下方式实现，即压电堆叠在该区域中配备有填充硅树脂、塑料或者漆的缝隙。通过缩回的内电极层，在分配给该区域的压电层中得到所谓的非活性区，该非活性区在施加到外电极或内电极层的电压的情况下由降低的电场强度通过并且因此在所施加的电压的情况下没有压电层的其余的所谓活性区那么强地伸展。这尤其是在非活性区和非活性区的边缘区本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：K本克特，H贝丁格，S德内勒，HJ卡斯特尔，A伦克，C舒，
申请(专利权)人：欧陆汽车有限责任公司，
类型：
国别省市：