【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种均匀颗粒制备装置,包括真空腔室、固定在真空腔室上方的坩埚、气压控制器、压电振荡器、信号发生器、加电极板、冷却收集器和微机控制系统,其中,坩锅侧壁和真空腔室侧壁分别通过各自的输气管和阀门与气压控制器相连,在坩埚与真空腔室内分别设置有压力传感器,气压控制器根据压力传感器的输入调节坩埚和真空腔室内的气体压力,坩埚和真空腔室分别与惰性气体储藏装置相连;坩埚的底部设置有与真空腔室相连通的微型喷嘴,压电振荡器的振动头位于微型喷嘴的上方,信号发生器在微机控制系统的控制下生成振荡信号,信号发生器输出的振荡信号加载在压电振荡器上;加电极板、位于真空腔室内,设置在微型喷嘴的下方,其上相对与 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吴萍,刘立娟,周伟,李宝凌,李述,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:发明
国别省市:12[中国|天津]
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