【技术实现步骤摘要】
本专利技术的一个或多个方面涉及一种沉积源组件、一种有机层沉积设备和一种通过利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法,更具体地讲,涉及一种可以简单地应用于大规模制造大尺寸显示装置并且提高了制造良率的有机层沉积设备以及一种通过利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法。
技术介绍
与其它显示装置相比,有机发光显示装置具有更大的视角、更好的对比度特性和更快的响应速度,因此作为下一代显示装置而备受关注。有机发光显示设备通常具有包括阳极、阴极及设置在阳极和阴极之间的发射层的堆叠结构。当分别从阳极和阴极注入的空穴和电子在发射层中复合并由此发射光时,所述设备显示彩色图像。然而,仅采用这种结构难以实现高发光效率,因此可以在发射层和每个电极之间另外设置包括电子注入层、电子传输层、空穴传输层、空穴注入层等的中间层。然而,很难以精细图案形成诸如发射层和中间层的有机薄膜。另外,红色、绿色和蓝色的发光效率会根据发射层和中间层而改变。因此,很难通过利用相当的有机层沉积设备来执行大面积的有机薄膜的图案化。因此,制造具有满意的驱动电压、电流密度、亮度、色纯度、发光效率和寿命特性的大 ...
【技术保护点】
一种沉积源组件,所述沉积源组件包括:第一沉积源,用于排放沉积材料;第二沉积源,堆叠在第一沉积源上,第二沉积源用于排放与第一沉积源排放的沉积材料不同的沉积材料;第二沉积源喷嘴单元,设置在第二沉积源的面对沉积目标的侧面,并且包括多个第二沉积源喷嘴;第一沉积源喷嘴单元,设置在第二沉积源的面对沉积目标的所述侧面,并且包括形成为穿过第二沉积源的多个第一沉积源喷嘴。
【技术特征摘要】
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