【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体剥离溶剂的回收系统，特别是涉及一种具有热交换器以提高蒸馏纯化效率的半导体剥离溶剂的回收系统。
技术介绍
在半导体制造领域中，许多制作过程因为步骤较为繁杂而使得制造成本提高。例如硅穿导孔(TSV，Through-Silicon Via)及半导体立体封装(3D IC)的制作过程，都因为具有较为复杂的制作过程而使成本一直居高不下。然而，这些半导体制作过程除了制作过程冗长之外，于制作过程中所耗用的材料也占据了部分的成本，其中剥离溶剂(de-bondingagent)就是其中之一。当一晶圆完成TSV制作过程后，要以剥离溶剂让胶层先失去黏性(如照射紫外线或使用有机溶剂)以便将晶圆从承载片中取下。而目前剥离溶剂是一次用完即丢弃，亦即使用后的剥离溶剂先以废液瓶回收，待厂商取回后以废弃物处理；或者是将使用后的剥离溶剂直接排放至废水处理设施中。然而，这样的处理方式既不符合环保概念也会增加耗材成本。故，有必要提供一种半导体剥离溶剂的回收系统，以解决现有技术所存在的问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种半导体剥离溶剂的回收系统，其包含一剥离器、一蒸馏...
【技术保护点】
一种半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于：所述半导体剥离溶剂的回收系统包含：一剥离器，产出一使用过的一种剥离溶剂；一热交换器，输入所述使用过的剥离溶剂并将其预热；及一蒸馏器，输入所述预热过的剥离溶剂，并蒸馏纯化出一剥离溶剂蒸气；其中所述剥离溶剂蒸气系输入热交换器而与所述使用过的剥离溶剂进行热交换，以预热所述使用过的剥离溶剂，并使所述剥离溶剂蒸气冷凝为一纯化回收液。
【技术特征摘要】
1.一种半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于所述半导体剥离溶剂的回收系统包含一剥离器，产出一使用过的一种剥离溶剂；一热交换器，输入所述使用过的剥离溶剂并将其预热 '及一蒸馏器，输入所述预热过的剥离溶剂，并蒸馏纯化出一剥离溶剂蒸气；其中所述剥离溶剂蒸气系输入热交换器而与所述使用过的剥离溶剂进行热交换，以预热所述使用过的剥离溶剂，并使所述剥离溶剂蒸气冷凝为一纯化回收液。2.如权利要求I所述的半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于所述半导体剥离溶剂的回收系统还设有一混合器，混合所述纯化回收液及一新鲜剥离溶剂，并供应至所述剥离器重复使用。3.如权利要求I所述的半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于所述蒸馏器是一密闭的容器，其内部包含一加热器，设于所述容器的一内底部；一喷雾器，设于所述容器的一内顶部，以喷雾方式输入所述回收液；多个托盘，设于所述加热器与所述喷雾器之间；多个填充物，设于所述多个托盘上，吸收所述回收液以增加所述回收液蒸发的表面积；及一蒸气出口，设于所述容器内的最高点，以向外输出所述回收液蒸气。4.如权利要求I所述的半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于所述热交换器设有一壳部及一管部，所述壳部包含一回收液蒸气入口及一纯化回收液出口，所述管部包含一回收液入口及一回收液出口。5.如权利要求I所述的半导体剥离溶剂的回收系统，其特征在于所述剥离器与所述热交换器之间还设有一回收液储存容器；所述回收液储存容器与所述热交...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄文宏，黄敏龙，周泽川，王秀枝，杨秉丰，
申请(专利权)人：日月光半导体制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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