音响传感器、音响转换器、利用该音响转换器的传声器、及音响转换器的制造方法技术

在本发明专利技术的音响传感器(1)中，在硅基板(11)的上表面，隔着气隙(22)而配置有导电性的振动膜(14)和上固定电极板(5)，并且在硅基板(11)的表面上添加有杂质。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种音响转换器，尤其涉及一种利用MEMS (Micro ElectroMechanical System,微电子机械系统)技术制造的微小尺寸的音响转换器、利用该音响转换器的传声器、及音响转换器的制造方法。
技术介绍
以往，作为小型的传声器，使用一种利用被称为ECM (Electret CondenserMicrophone,驻极体电容传声器)的音响传感器的传声器。然而，ECM不耐热,另外,在应对数码化、小型化、高功能·多功能化、省功率这些方面，利用使用MEMS技术制造的音响传感器的传声器(MEMS传声器)较为优异，因此，近年来多采用MEMS传声器。使用MEMS技术制造的音响传感器(MEMS传感器)是使用半导体集成电路制作技术制作的音响传感器，其具有如下构成以利用隔膜电极和背板电极形成电容器的方式，将这些电极设在半导体基板上。而且，如果对该MEMS传感器施加声压，那么导电性的振动膜(隔膜)会振动，从而振动膜和包含固定电极的固定膜(背板)间的距离发生变化。由此，由振动膜和固定电极形成的电容器的静电电容发生变化。MEMS传声器通过测定该静电电容的变化所引起的电压的变化，作为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.05.27 JP 2010-1216811.一种音响转换器，包含半导体基板、导电性的振动膜、及固定电极板； 该音响转换器在所述半导体基板的上表面，隔着空隙而配置有所述振动膜和所述固定电极板，根据所述振动膜和所述固定电极板间的静电电容的变化来检测压力； 该音响转换器的特征在于 在所述半导体基板的表面上添加有杂质。2.根据权利要求I所述的音响转换器，其特征在于 在所述半导体基板的形成有所述振动膜一侧的表面上，添加有杂质。3.根据权利要求2所述的音响转换器，其特征在于 所述半导体基板的所述表面、和所述振动膜或所述固定电极板之间形成电连接。4.根据权利要求3所述的音响转换器，其特征在于 在添加有杂...

【专利技术属性】
技术研发人员：石本浩一，多田罗佳孝，犬塚伸，S·康蒂，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，意法半导体股份有限公司，
类型：
国别省市：