一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微型泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微型泵，包括下泵体（1）、依次压叠在下泵体（1）上的基片（6）和上泵体（9），基片（6）上侧镀有正磁致伸缩效应的薄膜（8），下侧镀有逆磁致伸缩效应的薄膜（12）；基片（6）的底面与下泵体构成泵腔体（4）和阀腔体（11），泵腔体（4）与阀腔体（11）通过通孔连通；泵腔体连接有进液管道（3），阀腔体连接有出液管道（13），并分别设有悬臂梁阀结构的阀膜；泵体外设有线圈架（5），线圈架（5）上饶有驱动线圈（7），具有磁致伸缩效应的薄膜在磁场的作用下带动基片（6）上下摆动，压迫泵腔体（11）内的液体产生单一方向的循环流动。本实用新型专利技术微型泵具有输出压力大，驱动频率高、可控性强等特点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的微型泵，其特征是包括下泵体（1）、依次压叠在下泵体（1）上的基片（6）和上泵体（9），所述基片（6）上侧镀有正磁致伸缩效应的薄膜（8），下侧镀有逆磁致伸缩效应的薄膜（12）；基片（6）的底面与下泵体构成泵腔体（4）和阀腔体（11），泵腔体（4）与阀腔体（11）通过通孔连通；所述泵腔体连接有进液管道（3），所述阀腔体连接有出液管道（13），进液管道（3）与泵腔体（4）连通处设有进液阀膜（2），进液阀膜（2）通过一端粘接在泵腔体内壁上形成悬臂梁阀结构；所述阀腔体（11）与泵腔体（4）连通处设有出液阀膜（10），出液阀膜（10）通过一端粘接在阀腔体内壁上形成悬臂梁阀结构；所述泵体外设有线圈架（5），线圈架（5）上饶有驱动线圈（7）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王传礼，周禾清，邓海顺，吴晓磊，
申请(专利权)人：安徽理工大学，
类型：实用新型
国别省市：