本发明专利技术公开了一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、模具，所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。包括如下步骤：氧化硼置于铂金坩埚中并保持１４００℃；拉起塞柱使氧化硼液体通过坩埚底部出料口流出，注入位于坩埚下面的模具中；当浇铸完毕时，放下塞柱关闭坩埚底部出料口。装置机构简单、方法操作方便、定量控制便捷，实现了低成本、高效率条件下的无水氧化硼的高精度铸模。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种铸模装置和方法，尤其涉及一种高纯度无水氧化硼铸模装置和方法。
技术介绍
在ni-V族化合物半导体制备中，需要用无水氧化硼作为高温覆盖剂，要 求氧化硼的纯度> 99. 999%,含水率《200ppm,这种髙纯度的氧化硼被称为高温 覆盖剂级氧化硼。这种氧化硼不仅对纯度、水分含量有严格的要求，而且对氧 化硼的形态也有特定的要求， 一般都做成不同规格的圆柱体，每块质量误差《 0. 5克。但铸模时，熔融状态下的氧化硼的粘度从1400-120(TC,变化很大，倾 倒困难，更不用说进行高精度的铸模了。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述不足，提供。本专利技术的技术方案如下 一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、 模具，所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活 动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。所述坩埚、塞柱由铂金制成。所述坩埚设有盖子。所述出料孔连接有导液管。所述加热装置为中频感应加热器。所述模具带有称重装置。所述称重装置为电子秤。一种高纯度无水氧化硼铸模方法，包括如下步骤氧化硼置于铂金坩埚中 并保持140(TC;拉起塞柱使氧化硼液体通过坩埚底部出料口流出，注入位于坩 埚下面的模具中；当浇铸完毕时，放下塞柱关闭坩埚底部出料口。 氧化硼浇铸时，同时对模具称重，达到所需重量后浇铸完毕。 将凝成固体的氧化硼从模具中倒出，并置于真空干燥器冷却。 本专利技术与现有技术相比具有的有益效果是装置机构简单、方法操作方便、 定量控制便捷，实现了低成本、高效率条件下的无水氧化硼的髙精度铸模。附图说明图1为本专利技术结构示意图。具体实施例方式下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作详细描述。实施例1:如图1所示， 一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚3、 模具6,所述坩埚设有中频感应加热器4,所述坩埚底部有出料孔8，出料孔8 中设有上下活动的塞柱1，塞柱1上端套在固定在所述坩埚3上部的塞柱定位板 2的定位孔中。坩埚3设有盖子，坩埚3、塞柱1由铂金制成，出料孔8连接有 导液管7，模具6带有电子秤5。 一种高纯度无水氧化硼铸模方法，包括如下步 骤氧化硼置于铂金坩埚3中并通过中频感应加热器4保持140(TC;拉起塞柱 l使氧化硼液体通过坩埚底部出料口 8流出，注入位于坩埚3下面的模具6中； 氧化硼浇铸时，同时对模具称重，达到所需重量后，浇铸完毕，放下塞柱1关 闭坩埚底部出料口 8;将凝成固体的氧化硼从模具中倒出，并置于真空干燥环境 中冷却。除上述实施例外，本专利技术还可以有其他实施方式，凡采用等同替换或等效 变换形成的技术方案，均落在本专利技术要求的保护范围之内。权利要求1. 一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、模具，其特征在于所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。2. 根据权利要求l所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述坩 埚、塞柱由铂金制成。3. 根据权利要求l所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述坩 埚设有盖子。4. 根据权利要求l所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述出 料孔连接有导液管。5. 根据权利要求l所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述加 热装置为中频感应加热器。6. 根据权利要求l所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述模 具带有称重装置。7. 根据权利要求6所述的一种高纯度无水氧化硼铸模装置，其特征在于所述称 重装置为电子秤。8. —种高纯度无水氧化硼铸模方法，其特征在于包括如下步骤氧化硼置于铂 金坩埚中并保持140(TC;拉起塞柱使氧化硼液体通过坩埚底部出料口流出， 注入位于坩埚下面的模具中；当浇铸完毕时，放下塞柱关闭坩埚底部出料口。9. 根据权利要求8所述的一种高纯度无水氧化硼铸模方法，其特征在于氧化硼 浇铸时，同时对模具称重，达到所需重量后浇铸完毕。10. 根据权利要求8所述的一种髙纯度无水氧化硼铸模方法，其特征在于将凝成 固体的氧化硼从模具中倒出，并置于真空干燥器冷却。全文摘要本专利技术公开了一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、模具，所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。包括如下步骤氧化硼置于铂金坩埚中并保持1400℃；拉起塞柱使氧化硼液体通过坩埚底部出料口流出，注入位于坩埚下面的模具中；当浇铸完毕时，放下塞柱关闭坩埚底部出料口。装置机构简单、方法操作方便、定量控制便捷，实现了低成本、高效率条件下的无水氧化硼的高精度铸模。文档编号B22D23/00GK101428341SQ200810155688公开日2009年5月13日 申请日期2008年10月29日 优先权日2008年10月29日专利技术者杜万毅, 范家骅 申请人:南京金美镓业有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、模具，其特征在于所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：范家骅，杜万毅，
申请(专利权)人：南京金美镓业有限公司，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]
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