一种高纯度无水氧化硼铸模装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、模具，所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。包括如下步骤：氧化硼置于铂金坩埚中并保持１４００℃；拉起塞柱使氧化硼液体通过坩埚底部出料口流出，注入位于坩埚下面的模具中；当浇铸完毕时，放下塞柱关闭坩埚底部出料口。装置机构简单、方法操作方便、定量控制便捷，实现了低成本、高效率条件下的无水氧化硼的高精度铸模。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种铸模装置和方法，尤其涉及一种高纯度无水氧化硼铸模装置和方法。
技术介绍
在ni-V族化合物半导体制备中，需要用无水氧化硼作为高温覆盖剂，要 求氧化硼的纯度> 99. 999%,含水率《200ppm,这种髙纯度的氧化硼被称为高温 覆盖剂级氧化硼。这种氧化硼不仅对纯度、水分含量有严格的要求，而且对氧 化硼的形态也有特定的要求， 一般都做成不同规格的圆柱体，每块质量误差《 0. 5克。但铸模时，熔融状态下的氧化硼的粘度从1400-120(TC,变化很大，倾 倒困难，更不用说进行高精度的铸模了。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述不足，提供。本专利技术的技术方案如下 一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、 模具，所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活 动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。所述坩埚、塞柱由铂金制成。所述坩埚设有盖子。所述出料孔连接有导液管。所述加热装置为中频感应加热器。所述模具带有称重装置。所述称重装置为电子秤。一种高纯度无水氧化硼铸模方法，包括如下步骤氧化硼置于铂金坩埚中 并保持140(T本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高纯度无水氧化硼铸模装置，包括出料坩埚、模具，其特征在于所述坩埚设有加热装置，所述坩埚底部有出料孔，出料孔中设有上下活动的塞柱，塞柱上端套在固定在所述坩埚上部的塞柱定位板的定位孔中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：范家骅，杜万毅，
申请(专利权)人：南京金美镓业有限公司，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]