【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及生物芯片研究领域，特别涉及一种固相-数字PCR芯片及其制作方法。
技术介绍
在进行生物研究和实际检测时，有时待测DNA样品的量较少或者从样品中提取的待测DNA分子浓度较低时，为了得到较好的结果，通常需要先对样品分子的量进行聚合酶链反应(Polymerase Chain Reaction，PCR)。虽然常规的PCR技术已广泛应用于生命科学研究及相关领域，并且在应用过程中不断得到改进，但目前仍然存在着耗时太长，操作繁琐，试剂消耗量大，扩增结果不稳定等缺点。因此人们一直在寻求更快速更简便的PCR方法。固相PCR是将特定的引物寡核苷酸通过不同的方法固定在固相支持物上来扩增目的DNA。固相支持物有琼脂糖小珠，聚丙烯酰胺小珠，乳胶小珠，磁珠，普通玻片以及硅片 等。固相PCR可以将核酸扩增、核酸分离和核酸检测三个相互独立的步骤整合在一起，避免常规PCR扩增的一些干扰因素，PCR反应产物易于分离纯化，同时可实现多个不同扩增反应的同步进行。固相PCR在快速基因分型、药学基因组学以及基于基因组学的药物发展中有广泛的用途。数字PCR是最新的DNA定量技术，其基于单分子P...
【技术保护点】
一种固相？数字PCR芯片的制作方法，包括如下步骤：步骤1：取一基片，去除表面有机及无机杂质，并进行真空干燥；步骤2：在基片正面生长牺牲层；步骤3：通过光刻工艺和刻蚀工艺将掩模图形转移到牺牲层上；步骤4：以牺牲层为掩膜，通过刻蚀工艺，在基片上形成微孔阵列；步骤5：取一盖片，去除表面有机及无机杂质，并进行真空干燥；步骤6：在盖片正面旋涂PDMS膜，并加热使PDMS膜固化；步骤7：对PDMS膜进行表面处理，并将DNA探针结合在PDMS膜的表面；步骤8：将基片与盖片键合，使基片上微孔阵列中的每个微孔形成独立反应池，形成固相？数字PCR芯片。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：韩伟静，魏清泉，孙英男，李运涛，俞育德，周晓光，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：
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