声表面波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种声表面波装置。在压电基板上具有以覆盖IDT电极的方式形成的电介质膜的声表面波装置中，实现谐振特性、过滤器特性等的频率特性的改善。本发明专利技术涉及的声表面波装置(1)，具有：表面形成有槽(10a)的压电基板(10)、IDT电极(11)、以及电介质膜(12)。IDT电极(11)，具有位于槽(10a)内的第一电极层(11a)、和位于槽(10a)外的第二电极层(11b)。电介质膜(12)，以覆盖IDT电极(11)的方式而被形成在所述压电基板(10)上。第二电极层(11b)向着与压电基板(10)相反的一侧顶端越来越细。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村哲也，伊田康之，佐治真理，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：
国别省市：