一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，包括以下步骤：1）获得含有大颗粒的溶液A；2）获得含有小颗粒的溶液B；3）将溶液A和溶液B混合，搅拌，获得混合溶液C；4）将混合溶液C涂覆在光伏玻璃基底的一侧，之后将溶液B涂覆在光伏玻璃基底的另一侧，然后将该玻璃基底干燥；5）在光伏玻璃基底的一侧溅射沉积形成ZnO基透明导电薄膜；其中，在步骤1）和步骤2）中，颗粒源指的是硅氧化物或金属氧化物的前驱体，大颗粒与小颗粒的粒径差为250~350nm。本发明专利技术的双结构绒面ZnO基透明导电薄膜制备方法，无需经过湿法刻蚀即可在光伏玻璃基底的一侧获得双结构绒面ZnO基透明导电薄膜，同时，在光伏玻璃基底的另一侧得到减反射薄膜，操作简单，适合工业化大规模应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于透明导电氧化物薄膜
，具体涉及。
技术介绍
目前，薄膜太阳能电池因其具有低成本、低材料消耗等优势在多种太阳能电池中占有重要的地位，其中透明导电氧化物(TCO)薄膜是薄膜太阳能电池的重要组成部分。ZnO基薄膜由于具有光电性能优良、原材料丰富、价格低廉、无毒、氢等离子体下稳定等优势，受到了越来越多的关注，在铜铟镓硒、硅基等薄膜太阳能电池中得到了广泛的应用。由于薄膜太阳能电池的光电转换层非常薄，对入射光的吸收率较低，因此在透明导电薄膜上设计一种绒面陷光结构可以有效提高光散射能力，增加入射光光程,从而增大太阳能电池对入射光子的吸收能力，有效降低有源层厚度。同时，绒面结构的ZnO基薄膜可增大太阳能电池短 路电流，提高光电转换效率，是太阳能电池前电极的理想材料。目前ZnO基透明导电薄膜绒面的主流制备方法是采用磁控溅射法加湿法刻蚀技T^0Wei-Lun Lu等(Study of textured ZnO A1 thin Im and its optical propertiesfor thin Im silicon solar cells， Journal of Physic本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：？1）将1份体积的颗粒源、1.5~3.5份体积的催化剂、2~3份体积的去离子水、10~20份体积的有机溶剂，在室温下搅拌8~10小时，再加入1份体积的颗粒源及0.1~0.2份体积的去离子水，搅拌8~10小时，获得含有大颗粒的溶液A；2）将1份体积的颗粒源、0.5~2份体积的催化剂、1.5~3.5份体积的去离子水、10~20份体积的有机溶剂，在室温下搅拌3~8小时，获得含有小颗粒的溶液B；3）将溶液A和溶液B以1:（0.25~2）的体积比混合，继续搅拌3~6小时，获得含有不同粒径颗粒的混合溶液C；？4）采用涂覆技术将混合溶液C...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李佳，黄金华，鲁越晖，宋伟杰，兰品军，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：