一种光纤珐珀传感器及其制作方法技术

技术编号:8240752 阅读:170 留言:0更新日期:2013-01-24 21:07
本发明专利技术公开了一种光纤珐珀传感器及其制作方法,所述的传感器包括:光纤和被接光纤,在所述光纤或/和被接光纤的端面设有微槽,所述光纤和被接光纤对接连接在一起,所述微槽形成FP腔,所述FP腔的光学发射面为平面,所述光纤珐珀传感器的外端面加工成薄片,在所述薄片中间位置刻蚀出一个凸起的圆柱体。本发明专利技术的光纤珐珀传感器实现了传感器的简单复用,即在一个传感头上制作出两个不同的珐珀腔,通过这两个不同的珐珀腔来实现双参数测量,利用空气腔对温度不敏感的特性用其测量压力或者加速的,同时利用实心腔对温度的敏感特性实现对温度的测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光纤传感
,具体涉及一种多参数测量光纤珐珀传感器的设计。
技术介绍
近年来,随着生物、医学、能源、环境、航天航空、军事等领域的快速发展,对传感器的微型化、轻量化、低能耗、耐恶劣环境能力等提出非常迫切的要求,微纳传感器已成为国际上的重大科技前沿热点之一。激光微加工技术的迅猛发展为研究新一代微纳光纤传感器件提供了新的技术手段,因此如何应用激光等现代微纳加工技术在光纤上实现各种微纳功能性传感器器件是未来光纤传感器发展的重要趋势。在应对各种复杂的测试环境,如航空航天等领域,对传感器在对高温下的特性也提出了急迫的要求,如何解决传感器在高温下的测量是传感器领域中的一个十分前沿和重大的科学课题。在高温环境下,测量温度参数 具有同样重要的意义,如何实现传感器在测量指定参数的同时对温度参数的测量也是传感器领域中的一个十分前沿和重大的科学课题。在光纤传感器中,作为温度、加速度和压力测量的传感器主要是布拉格光纤光栅(Fiber Bragg Grating, FBG)和法拍(Fabry Perot, FP)腔干涉仪,FBG由于其温度与其它被测量的交叉敏感性和在大应变下光谱畸变使其应用受本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光纤珐珀传感器,包括:光纤和被接光纤,在所述光纤或/和被接光纤的端面设有微槽,所述光纤和被接光纤对接连接在一起,所述微槽形成FP腔,所述FP腔的光学发射面为平面,所述光纤珐珀传感器的外端面加工成薄片,在所述薄片中间位置刻蚀出一个凸起的圆柱体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:冉曾令陈怡李成左红梅王彦君柳珊
申请(专利权)人:电子科技大学
类型:发明
国别省市:

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