【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于纳米计量溯源
，涉及一种能输出具有实时精度溯源性测量数据，实现亚纳米级精度的计量及溯源的方法。
技术介绍
纳米技术已成为推动全球科技革新、经济增长的重大领域，随着其蓬勃发展，各种亚纳米级精度的计量及溯源方法已广泛应用于科学研究和实际生产中，它使人类能实时地观察单个原子在物体表面的排列，进行纳米级的测量、加工、信息存储等，具有巨大的应用潜力。现在越来越多的现代测量及加工要求测得的数据具有实时精度溯源性，但现实检测及加工中往往并不知道所计量精度数据的准确性和实时稳定性，因此对待检测对象实现亚纳米级精度的计量及溯源显得尤为重要。 标准参考物质对计量检测仪器的实时反馈和校准将起到很重要的作用。目前具有溯源性的亚纳米级测量主要来源于微电子工业，传统的计量检测仪器校准往往为有资质的机构用标准物质进行校准，并指明有效期限；目前国外流行的测量方法是利用已知纳米结构的标准样品进行测量校准，如聚苯乙烯微球、金纳米微球、光栅条纹等。石墨烯具有稳定的结构，外部机械力不能改变晶格结构，热稳定性良好，易观测。碳原子之间键长约为O. 142nm,单层石墨烯厚度为原子厚度。...
【技术保护点】
以石墨烯键长作为计量基准的长度计量溯源方法，其特征在于，包括如下步骤：1)将石墨烯基准样品和待测对象分别放置在各自的平台上，其中一套检测装置置于石墨烯基准样品的上方，另一套检测装置置于待测对象的上方；检测装置与相应的平台之间有相对位移；石墨烯基准样品和待测对象的平台为超精密同步运动联接，并具有定量位移函数关系；2)当检测装置与相应平台之间移动时，将检测到的石墨烯基准样品键长信息和预设的石墨烯晶格结构标准信息进行对比，校正石墨烯基准样品键长信息的误差；3)校正后的石墨烯基准样品键长信息根据步骤1)中的位移函数进行换算；4)检测待测对象的位移信号；5)对比步骤3)中换算的石墨烯...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘红忠，蒋维涛，姜维，丁玉成，卢秉恒，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：
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