【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种隔膜式电磁气泵,包括泵体、底座(2)、散热器(23)和测控单元,泵体包括泵盖(22)、两头的气腔端盖(8、13)、位于两个气腔端盖(8、13)之间的嵌入参数相等而异性磁极共平面的两个永磁体(7、12)的拉杆(1)、分别固定于两个绝缘骨架(6、9)上的参数相等且异性磁极相向的两个电磁线圈(5、10),其特征在于,泵体还包括与泵体绝缘骨架固定连接并与绝缘骨架上线圈气隙隔离的微型半导体制冷装置(11)、分别位于两气腔端盖(8、13)内的差动电容,底座(2)的贯通孔(4)外侧的温度传感器(3)和差动电容信号送入测控单元,测控单元输出控制信号到微型半导体制冷装置(11)。
【技术特征摘要】
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