一种熔盐电解去除硅中硼和磷杂质的方法技术

一种熔盐电解去除硅中硼和磷杂质的方法，涉及多晶硅材料的提纯方法。提供一种选择性高、工艺简单的熔盐电解去除硅中硼和磷杂质的方法。Si-M合金阳极的制备，电解质预处理，电解槽组装，熔盐电解提纯多晶硅。采用真空熔炼Si-M合金，作为可溶性阳极；以复合氯化物-氧化物复合熔盐作为新型低温电解质体系；以金属、硬质合金、太阳能级多晶硅或高纯石墨作为阴极。进一步降低了电解温度和电解电压，保证了电解过程的高效、稳定、低能耗运行，对多晶硅中杂质元素B和P的高选择性提纯。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种熔盐电解去除硅中硼和磷杂质的方法，其特征在于包括以下步骤：1）Si？M合金阳极的制备（1）取金属Si粉和金属M粉为原料混合均匀装入坩埚，置于熔炼炉中，先开机械泵抽真空至950～1050Pa，接着开罗茨泵抽真空至9～11Pa，接通电源加热，通入冷却循环水，石墨发热体进行加热Si粉和金属M粉；（2）温度升高到700℃后，先关闭罗茨泵，接着关闭机械泵，通入氩气，待温度升高到目标温度后，保温2h，将熔体直接倒入石墨模具中冷却制得Si？M合金阳极；2）电解质预处理（1）选用氯化物？氧化物熔盐MeClx？Me’yOz体系作为电解质，将氯化物电解质进行干燥除湿预处理，其中氧化物电解质中的Me’y(CO3...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：罗学涛，方明，蔡靖，李锦堂，余德钦，林彦旭，卢成浩，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：