动力排液防倒灌接头制造技术

本实用新型专利技术公开了一种动力排液防倒灌接头，包括：连接母口，与一排液管相连；连接公口，连接于所述连接母口；防倒灌装置，设置于所述连接公口内。本实用新型专利技术在不改变现有设备的情况下，在排液管内增设防倒灌接头，可以在地势有落差及排放压力超出控制范围等异常情况下使用，防止在排液时的废液倒灌，增加了安全性，预防工安事件的发生。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及集成电路制造领域，特别涉及一种动力排液防倒灌接头。
技术介绍
随着晶圆厂产能扩大和集约化生产的大趋势下，厂务动力的压力也日趋加大。目前主流的废水废液排放采用重力排放，即在设 备排放口的下方设置排液管，通过废液自身重力由排液管排出。排液管的结构一般是基于国际法兰标准的，满足国际通用的关于法兰标准规定。但是可能因为地势落差和排放压力超出控制范围，从而使排液管下方的废液压力大于排液管内的废液重力，最终导致废液倒灌而进一步产生人员危害，设备损坏，环境污染等工安事件。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种在不改变现有设备的情况下实现防倒灌的动力排液防倒灌接头。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种动力排液防倒灌接头，包括连接母口，与一排液管相连；连接公口，连接于所述连接母口 ；防倒灌装置，设置于所述连接公口内。可选的，所述连接母口和所述连接公口是法兰接口，所述连接母口和所述连接公口是螺纹连接。可选的，所述连接公口的顶部设置有第一卡槽。可选的，所述防倒灌装置包括固定框架、浮块和密封圈，所述固定框架设置于所述连接公口内，所述浮块设置于所述固定框架内，所述密封圈设置于所述固定框架顶部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种动力排液防倒灌接头，其特征在于，包括：连接母口，与一排液管相连；连接公口，连接于所述连接母口；防倒灌装置，设置于所述连接公口内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：戴文俊，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：实用新型
国别省市：