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增益eDRAM存储单元结构制造技术

技术编号:8191501 阅读:140 留言:0更新日期:2013-01-10 02:20
本发明专利技术属于存储器技术领域,提出了一种改善增益型eDRAM器件结构。本发明专利技术的一种增益eDRAM单元,包括读MOS晶体管、写MOS晶体管、写字线、写位线、读字线、读位线,读MOS管的栅极和写MOS管的漏区通过金属线连接共同构成存储结点,写MOS管、读MOS管分别具有栅极介质,其特征在于,所述的写MOS管、读MOS管具有沟槽沟道,写MOS管、读MOS管的栅极介质位于硅衬底沟槽中,栅极为向下凸起的凸面圆柱状。本发明专利技术可以明显改善器件的数据保持特性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于存储器
,提出了一种改善增益型eDRAM器件结构。
技术介绍
如图I 所示,是 intel 的 2T Gain Cell eDRAM 单元。该 Gain Cell eDRAM 100 包括写MOS晶体管101、读MOS晶体管102、写字线(Write Word Line,ffffL) 105、读字线(ReadWord Line,RWL) 106、写位线(Write Bit Line,WBL) 107、读位线(Read Bit Line, RBL) 108以及等效寄生电容104(等效寄生电容不是作为一个独立器件而存在的,图中只是示意性地单独图示出)。其中,写MOS晶体管101的漏区连接于读MOS晶体管102的栅极,MN点 103为存储节点,等效寄生电容104 —端与103连接,另一端接地,因此,丽点的电位的高低能控制读MOS晶体管102的导通与关断;例如,电容104存储电荷时,代表存储“1”,MN点103为高电位,可以控制读MOS晶体管102关断。读MOS晶体管102的一端接RBL,另一端接RWL ;写MOS晶体管101的一端接WBL,另一端接读MOS晶体管102本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种增益eDRAM存储单元结构,包括读MOS晶体管、写MOS晶体管、写字线、写位线、读字线、读位线,读MOS管的栅极和写MOS管的漏区通过金属线连接共同构成存储结点,写MOS管、读MOS管分别具有栅极介质,其特征在于,写MOS管、读MOS管具有沟槽沟道,写MOS管、读MOS管的栅极介质位于硅衬底沟槽中,栅极为向下凸起的凸面圆柱状。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:林殷茵李慧
申请(专利权)人:复旦大学
类型:发明
国别省市:

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