一种由陶瓷先驱体制备图案化陶瓷的方法技术

一种由陶瓷先驱体制备图案化陶瓷的方法，涉及一种图案化陶瓷。将聚二甲基硅氧烷与交联剂混合，加入金属盒中，加热后放入母模，加热至PDMS固化，再加入液态PDMS后放入烘箱中固化后取出母模，得带有母模形状模腔的PDMS模具；将陶瓷先驱体和引发剂混合后注入到PDMS模具的模腔中，模腔中的陶瓷先驱体固化后，剥离PDMS模具，得固化的图案化陶瓷先驱体；将固化后的图案化陶瓷先驱体加热，降温后取出，即得图案化陶瓷。不仅简单易行，安全高效，适用于多种陶瓷先驱体，而且可制备出具有各种精细图案，无裂纹，精度较高的三维结构陶瓷，可广泛应用于高温MEMS器件，发动机部件，微型发动机燃烧室，化学反应器等领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种图案化陶瓷，尤其是涉及。
技术介绍
微机电系统(MEMS)正在全世界范围内蓬勃发展，各种MEMS器件，如基于MEMS技术的喷墨打印头、压力传感器、流量计、加速度计、陀螺仪、非冷却红外成像仪和光学投影仪等设备被不断研发出来。目前，MEMS器件主要基于硅微加工技术，限制了 MEMS在高温腐蚀环境中的应用，因此耐高温抗腐蚀的MEMS器件的研制正日益受到研究者的关注。传统的陶瓷粉末烧结法费时耗能，且制备的陶瓷微器件形状简单，孔隙率高，精度·低，表面粗糙，不适合陶瓷MEMS器件的制备。而化学气相沉积法(CVD)更是昂贵费时，且只能得到平面结构。由陶瓷先驱体制备的陶瓷具有共价键相连的网络结构，具有耐高温，耐热冲击，抗蠕变，耐腐蚀，抗高温氧化等优异性质，相比于陶瓷粉末，陶瓷先驱体成型简单，可通过光刻、软刻蚀、微铸等工艺制备图案化的陶瓷，在耐高温传感器、MEMS器件、微流体等领域具有广泛的应用。由于陶瓷固有的脆性及不易加工的特点，因此制备无裂纹、高强度的图案化陶瓷成为研究者关注的一个焦点。Li-Anne Liew, Yiping Liu 等(Li-Anne Liew, Yipin本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种由陶瓷先驱体制备图案化陶瓷的方法，其特征在于包括以下步骤：1）将聚二甲基硅氧烷与交联剂混合，加入金属盒中，加热后放入母模，继续加热至聚二甲基硅氧烷固化,再加入液态聚二甲基硅氧烷后放入烘箱中，加热固化后取出母模，得到带有母模形状模腔的聚二甲基硅氧烷模具；2）将陶瓷先驱体和引发剂混合后注入到聚二甲基硅氧烷模具的模腔中，模腔中的陶瓷先驱体固化后，剥离聚二甲基硅氧烷模具，得到固化的图案化陶瓷先驱体；3）将固化后的图案化陶瓷先驱体置于管式炉中加热，降温后取出，即得图案化陶瓷。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：余煜玺，陈兆云，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：