一种电子气体吸附剂的改性方法技术

一种电子气体吸附剂的改性方法，它涉及一种吸附剂的改性方法。本发明专利技术是要解决现有电子气体吸附剂的吸附量低的问题。改性方法：一、将电子气体吸附剂置入吸附器中进行加热；二、从入口处向吸附器中匀速通入氢气与三甲基铝蒸汽的混合气体，并以与通入混合气体的同样速度从出口处排出混合气体。本发明专利技术使用三甲基铝作为负载金属，对活性炭、沸石，以及硅胶进行改性，改性后吸附能力得到了增强，吸附量提高了25～40％。本发明专利技术应用于微电子领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及吸附剂的改性方法。
技术介绍
高纯电子气体是微电子产业的支撑材料之一，无论制造电脑芯片、大规模集成电路、还有航空航天等方面的电子器件都离不开高纯电子气体，特别是在许多重要的尖端
中都必须使用气体质量为6N以上的高纯电子气体。目前我国所使用的高纯电子气体都全部依赖于进口，大大制约了我国在高端
的发展，并导致产品成本居高不下。而且高纯电子气体可用于半导体集成电路N型的制备和粮食的防腐。但未经过提纯的电子气体中含有大量的氧及水分，限制了其应用，所以在使用前需要对电子气体进行提纯净化。用吸附剂对其中的杂质进行吸附是一种很实用而且经济的 方法。但受到吸附剂的结构和性能等方面的影响，吸附剂的吸附量低，如沸石的吸附量一般为18g/mL、活性炭的吸附量一般为25g/mL、硅胶的吸附量一般为5g/mL。所以，在通常情况下需要对吸附剂进行改性。
技术实现思路
本专利技术是要解决现有电子气体吸附剂的吸附量低的问题，提供了。本专利技术的，是按以下步骤进行的一、将电子气体吸附剂置入吸附器中进行加热；其中，所述电子气体吸附剂为沸石、硅胶或活性炭；沸石和活性炭的加热温度为550 700°C本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子气体吸附剂的改性方法，其特征在于电子气体吸附剂的改性方法按以下步骤进行：一、将电子气体吸附剂置入吸附器中进行加热；其中，所述电子气体吸附剂为沸石、硅胶或活性炭；沸石和活性炭的加热温度为550～700℃，加热时间为1.5～3h；硅胶的加热温度为150～220℃，加热时间为1.5～3h；二、按氢气与三甲基铝蒸汽的体积比为(6～7)∶(3～4)，从入口处向吸附器中匀速通入氢气与三甲基铝蒸汽的混合气体，并以与通入混合气体的同样速度从出口处排出混合气体，混合气体的通入时间为1.5～4h，混合气体的通入量为：每1t电子气体吸附剂所用混合气体的体积为180～500L。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈静，陈明月，张宏伟，
申请(专利权)人：黑龙江省对俄工业技术合作中心，
类型：发明
国别省市：