一种多工位激光溅射样品台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种多工位激光溅射样品台，包括环状的样品盘、环状的定位爪，以及插入定位爪之中的转轴；定位爪顶部径向表面上沿周向等间距设有三个定位块，定位块外表面卡住样品盘的轴向内表面；定位爪轴向外表面顶部沿周向等间距设有三个托块，托块上表面拖住样品盘下表面；样品盘上表面沿周向均匀设有若干个斜面，斜面为样品放置面。斜面的个数为36个。斜面与水平面形成的角度为13°。本实用新型专利技术利用36等分的样品盘实现了多样品的质谱检测，通过样品盘的旋转斜面及绕轴微小转动实现了激光束的快速调焦，并且提高了激光溅射质谱的换样及调焦效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种多工位激光溅射样品台，特别是涉及一种用于质谱仪的多工位激光溅射样品台。
技术介绍
质谱仪器一般由离子源；离子传输系统和质量分析系统组成，现有的质谱仪器样品台存在无法满足多样品质谱监测的缺点，且更换样品后又要重新进行激光调焦，浪费了实验时间，降低了实验效率。因此亟需提供一种新型的多工位激光溅射样品台。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种实现了多样品的质谱检测，并且激光快速调焦的多工位激光溅射样品台。为解决上述技术问题，本技术一种多工位激光溅射样品台，包括环状的样品盘、环状的定位爪，以及插入定位爪之中的转轴；定位爪顶部径向表面上沿周向等间距设有三个定位块，定位块外表面卡住样品盘的轴向内表面；定位爪轴向外表面顶部沿周向等间距设有三个托块，托块上表面拖住样品盘下表面；样品盘上表面沿周向均匀设有若干个斜面，斜面为样品放置面。斜面的个数为36个。斜面与水平面形成10° 15°的角度。角度为13。。本技术利用36等分的样品盘实现了多样品的质谱检测。本技术通过样品盘的旋转斜面及绕轴微小转动实现了激光束的快速调焦。本技术提高了激光溅射质谱的换样及调焦效率。附图说明图I为本技术所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多工位激光溅射样品台，其特征在于：包括环状的样品盘、环状的定位爪，以及插入定位爪之中的转轴；所述定位爪顶部径向表面上沿周向等间距设有三个定位块，所述定位块外表面卡住所述样品盘的轴向内表面；所述定位爪轴向外表面顶部沿周向等间距设有三个托块，所述托块上表面拖住所述样品盘下表面；所述样品盘上表面沿周向均匀设有若干个斜面，所述斜面为样品放置面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：范增伟，郭冬发，刘桂方，董晨，
申请(专利权)人：核工业北京地质研究院，
类型：实用新型
国别省市：