多边形剖面中空体的制造方法及该多边形剖面中空体技术

一种多边形剖面中空体的制造方法及其产品，其用于半导体或液晶的制造装置等中，可缩短操作时间，减少多余厚度，进行角部的出角成形，可将多余厚度在延伸边部时加以利用，使用相同量的坯料制造更大的产品，另外，可在相同的加压设备内将更大的产品制造成规定的尺寸。该制造方法利用锻造用压力机进行扩径及成形，在中空状坯料的外侧使用平板状上铁砧，在内侧使用平板状下铁砧，进行边部成形和角部成形。利用该方法可得到多边形剖面中空体。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在例如半导体和液晶的制造装置(例如它们的容器)等中使用的多边形剖面中空体的制造方法及利用该制造方法制造的多边形剖面中空体。
技术介绍
半导体和液晶的制造装置逐渐大型化，特别是在液晶的制造装置中使用的金属制中空体，例如铝(Al)合金制的多边形剖面中空体的一边超过2m，最近更超过3m，而逐渐大型化，特别是大型的多边形剖面中空体的制造技术的确立成为重要的课题。通常，多边形剖面中空体的制造方法中，具有焊接轧制材料的方法和不经由锻造成形而从铸块通过切削加工制造的方法，但存在产品的气体密封性劣化，或切削加工后的产品表面露出缺陷的品质上的问题。除所述方法之外，还有将通过圆筒延展锻造(円筒延ばし锻造)而制造的竹筒状中空体切成圆片，并将其切削加工成产品形状的方法，但由于需要与锻造时的内径相同尺寸的芯骨，故通用性不好，该方法特别不适用于大型的多边形剖面中空体的制造。另外，利用扩径锻造法、扩孔锻造法(例如参照专利文献1)、环形材料压制法等制造环状坯料，将其切削加工成产品形状的方法也比现有方法实用。这些方法进行锻造等塑性加工，虽然在品质上没有问题，但由于从环状坯料直接削下产品，故存在坯料的投入量多本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多边形剖面中空体的制造方法，其利用锻造用压力机进行扩径及成形，其特征在于，在中空状坯料的外侧使用平板状上铁砧，在内侧使用平板状下铁砧，进行边部成形和角部成形。

【技术特征摘要】
JP 2004-5-11 141637/041.一种多边形剖面中空体的制造方法，其利用锻造用压力机进行扩径及成形，其特征在于，在中空状坯料的外侧使用平板状上铁砧，在内侧使用平板状下铁砧，进行边部成形和角部成形。2.如权利要求1所述的多边形剖面中空体的制造方法，其特征在于，在成形所述角部时，将该平板状下铁砧的上部角部靠在相当于作为目的的多边形剖面中空体的内侧角部的位置，进行加压，然后，使该中空体状的坯料绕其中心轴旋转5～30°进行设置，然后进行加压。3.如权利要求1所述的多边形剖面中空体的制造方法，其特征在于，在成形所述边部时，使用相同宽度或不同宽度的铁砧作为平板状上铁砧及平板状下铁砧，控制边部内侧及外侧的锻造伸长量。4.如权利要求1所述的多边形剖面中空体的制造方...

【专利技术属性】
技术研发人员：秋本浩，上野一裕，吉田正二，
申请(专利权)人：古河SKY株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]