一种电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器制造技术

该发明专利技术属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器。包括基片、设于基片上的振动圆盘，位于振动圆盘两则的环片式交流输入、输出电极及其接头，带定位头的静电电极及位于两端面上的绝缘片，含电极杆、电极臂和弹性导向臂在内的输入、输出电极移动定位组件；该发明专利技术由于在基片上增设了带定位头的静电电极及输入、输出电极移动定位组件，从而可将输入、输出电极与振动圆盘之间工作时的间隙（即带电间隙）控制在10nm左右并不会形成楔子形间歇。因而本发明专利技术具有谐振器加工工艺的难度低，可有效减小输入、输出电极与振动圆盘之间的间隙和圆盘谐振器工作时的动态电阻，谐振器Q值高，谐振器性能好等特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于射频通信及微机电系统(MEMS)
中的元器件
，特别是涉及ー种输入、输出电极与振动圆盘之间的间隙可动态调节的MEMS谐振器。
技术介绍
微机械圆盘谐振器(Micromechanical Disk Resonator),简称MEMS圆盘谐振器)是近年来正在迅猛发展的ー种射频谐振器，可以广泛运用于振荡器、滤波器等射频电路中。MEMS圆盘谐振器小体积、高Q (储能与耗能之比)值、低功耗、易集成等优点，使其在与传统的谐振器相比起来时有着巨大的优势和前景。在圆盘谐振器中，输入、输出电极和振动圆盘之间的距离以及交叠面积直接决定着谐振器的动态电阻，从而直接影响着谐振器Q值和功耗。但调整交叠面积的效果远不如调整间隙的效果明显，因为MEMS圆盘谐振器的串联动态电阻Rx由下式决定 「ハハハ。 R H 1dO4, I , jj % 7 Q V #2 (一)即动态电阻Rx值是随输入、输出电极与振动圆盘之间间隙(CU的四次方成正比，因此降低圆盘与输入输出电极之间的缝隙宽度Cltl可以大幅降低圆盘谐振器的动态电阻Rx。上式中Otl是放射状等高线模态谐振角频率，!^表示圆盘质量，Q表示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器,包括基片、设于基片上的振动圆盘，位于振动圆盘两则的环片式交流输入电极和交流输出电极及其交流输入接头、交流输出接头，其特征在于在基片上还设有一两端带定位头的静电电极、在两定位头的端面均设有绝缘片，而在交流输入电极与交流输入接头之间、交流输出与交流输出接头之间均分别设有包含电极杆、电极臂和弹性导向臂在内的电极移动定位组件；两端带定位头的静电电极固定于基片上、各绝缘片则平整地固定于定位头的表面，电极移动定位组件通过两电极杆分别与对应的交流输入电极及交流输出电极后端紧固连接、而通过两电极臂的一端分别与对应的交流输入电接头及交流输出电接头连接，电极杆的外端则分别...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：鲍景富，何宗郭，蒋俊文，杜亦佳，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：