一种微孔金属冷却镜及其制作方法技术

技术编号:8163071 阅读:229 留言:0更新日期:2013-01-07 20:31
本发明专利技术公开了一种微孔金属冷却镜及其制作方法,冷却镜包括镜体和镜架,镜体包括通过钎焊连接成一体的镜面和泡沫金属微孔层,镜架有至少二个进出液体通道,镜架位于泡沫金属微孔层的后面,并与镜体紧密连接。通过钎焊技术直接将镜面与泡沫金属材料进行钎焊连接,使冷却液体能够在泡沫金属材料中循环流动,从而实现对镜面的冷却,降低镜面温升和变形。本发明专利技术成功的在镜面上得到了均匀和可控的微孔冷却层,从而抑制了镜面面型的畸变过大,同时克服了在钎焊时泡沫金属与镜面材料难以焊接的问题,使熔化的钎料在毛细力的作用下适当的进入泡沫金属材料的底层,减少了与镜面基底之间的接触热阻。钎焊技术直接制作微孔金属冷却镜方法简单,易于操作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于激光光学谐振腔领域,具体涉及ー种微孔金属冷却镜及其制作方法,主要用于高功率密度和面型要求较高的高能激光器光学谐振腔和光学链。
技术介绍
激光光学谐振腔腔镜和 光学链中的反射镜由于吸收激光能量,导致镜面温升,造成镜面面型改变,引起激光波阵面畸变,造成输出光束质量和稳定性下降。随着激光功率越来越高,这个问题越来越突出。因此,减少镜面的热变形是高功率激光技术中的关键技木。目前主要从三个方面来降低镜面的热畸变选择合适的基底材料和装夹方式,使得镜面在吸收同样的能量下,热变形最小;镀制高反膜,降低镜面对激光的吸收;采用主动冷却技木,降低镜面的温升。镜体材料的选择受限于材料的物理性能、光学加工性能和机械性能,仅仅采用优化基体材料的単一方法已不能满足高能激光对高光束质量的特殊要求;提高镜面的反射率是非常有效的ー种手段,但反射率的提高受限于镀膜材料和镀膜エ艺,无法短期内大幅度提高。目前激光反射镜的反射率已经相当高,但仍不能解决日益增长的高能激光器存在镜面畸变的难题;所以,采用主动冷却的第三种方法已成为解决高能激光镜面变形的希望,也是最常用的方法。采用液体冷却(通常采用水)一直是高功率激本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微孔金属冷却镜,它包括镜体和镜架二个部分,镜体包括通过钎焊连接成一体的镜面和泡沫金属微孔层,镜架有至少二个进出液体通道,冷却液通过镜架上的其中一个进出液体通道进入泡沫金属微孔层,冷却液在泡沫金属微孔层内部流动,然后再通过另一个进出液体通道流出,镜架位于泡沫金属微孔层的后面,并与镜体紧密连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:朱海红何崇文胡攀攀
申请(专利权)人:华中科技大学
类型:发明
国别省市:

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