有机发光显示装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种有机发光显示装置及其制造方法。该有机发光显示装置包括：薄膜晶体管，薄膜晶体管包括有源层、包括栅极底部电极和栅极顶部电极的栅电极、覆盖栅电极的绝缘层、位于绝缘层上的接触有源层的源电极和漏电极；有机发光器件，其被电连接到薄膜晶体管，且包括依次层叠的与栅极底部电极在相同层上的像素电极、发射层以及对立电极；与所述栅极底部电极在相同层上的焊盘底部电极和与栅极顶部电极在相同层上的焊盘顶部电极，焊盘顶部电极包括使焊盘底部电极暴露的开口，和位于焊盘底部电极的上表面上与绝缘层在相同层上的、覆盖焊盘顶部电极的上表面的绝缘图案。

【技术实现步骤摘要】
有机发光显示装置及其制造方法相关专利申请的交叉引用本申请要求已于2011年6月28日递交到韩国知识产权局的韩国专利申请No.10-2011-0063049的权益，其公开内容通过引用而整体合并于此。
实施例涉及有机发光显示装置及其制造方法。
技术介绍
诸如有机发光显示装置或液晶显示装置的平板显示装置被制造在其上形成有包括薄膜晶体管(TFT)、电容器以及用于连接这些元件的布线的图案的基板上。
技术实现思路
根据实施例，提供了一种有机发光显示装置，包括：薄膜晶体管，包括有源层、包括栅极底部电极和栅极顶部电极的栅电极、绝缘层、位于所述绝缘层上以接触所述有源层的源电极和漏电极；有机发光器件，被电连接到所述薄膜晶体管，且包括由与所述栅极底部电极相同的层组成的像素电极、包括发射层的中间层以及对立电极，所述像素电极、所述中间层和所述对立电极依次层叠；和焊盘电极，包括由与所述栅极底部电极相同的层组成的焊盘底部电极和由与所述栅极顶部电极相同的层组成的焊盘顶部电极，其中所述焊盘顶部电极包括使所述焊盘底部电极暴露的开口，和由与所述焊盘顶部电极相同的层组成的电极图案和覆盖所述电极图案的上表面且由与所述绝缘层相同的层组成的绝缘图案，其中所述电极图案和所述绝缘图案被形成在所述焊盘底部电极的通过所述开口被暴露到外部的上表面上。所述焊盘底部电极和所述电极图案的通过所述开口被暴露到外部的侧部可以被配置为被电连接到提供电流以驱动所述有机发光显示装置的驱动器IC。所述焊盘底部电极和所述电极图案的通过所述开口被暴露到外部的所述侧部可以被配置为通过导电球被电连接到所述驱动器IC。所述电极图案可以被连接到所述焊盘顶部电极。所述电极图案可以从所述焊盘顶部电极伸出到所述焊盘底部电极的通过所述开口被暴露到外部的至少中央部位。所述电极图案可以包括使所述焊盘底部电极下方暴露的通孔。所述焊盘底部电极和所述电极图案的所述侧部可以被配置为通过布置在所述通孔中的导电球被电连接到所述驱动器IC，且所述通孔的最大宽度大于所述导电球的最大宽度。所述电极图案可以包括被连接到所述焊盘顶部电极的至少一个杆。所述电极图案和所述绝缘图案可以具有相同的图案。所述焊盘电极可以通过布线被电连接到所述薄膜晶体管或所述有机发光显示装置。所述焊盘底部电极可以包括比所述焊盘顶部电极和所述电极图案具有更好耐腐蚀性的材料。所述栅极底部电极、所述像素电极以及所述焊盘底部电极可以包括透明导电金属氧化物。所述栅极顶部电极、所述焊盘顶部电极以及所述电极图案可以包括Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、Li、Ca、Mo、Ti、W、MoW和Cu中的至少一种。该有机发光显示装置可以进一步包括电容器，所述电容器包括由与所述有源层相同的层组成的电容器底部电极和由与所述栅极底部电极相同的层组成的电容器顶部电极，且所述电容器被电连接到所述薄膜晶体管。根据实施例，提供一种制造有机发光显示装置的方法，该方法包括：第一掩模操作，在该第一掩模操作中在基板上形成薄膜晶体管的有源层；第二掩模操作，在该第二掩模操作中在基板上形成用于形成像素电极的第一电极单元、栅电极和用于形成焊盘电极的第二电极单元；第三掩模操作，在该第三掩模操作中形成层间绝缘层，所述层间绝缘层具有使所述有源层的两侧上部暴露的接触孔、使所述第一电极单元的部分暴露的开口以及在所述第二电极单元的上表面上的具有预定形状的绝缘图案；第四掩模操作，在该第四掩模操作中形成通过所述接触孔接触所述有源层的源电极和漏电极，所述像素电极由所述第一电极单元形成，包括在所述绝缘图案下面形成的电极图案的所述焊盘电极由所述第二电极单元形成；和第五掩模操作，在该第五掩模操作中暴露使所述像素电极的至少一部分暴露的像素限定层。所述电极图案和所述绝缘图案可以被形成为具有相同的图案。所述第二掩模操作可以包括在所述基板上依次形成第一绝缘层、第一导电层以及第二导电层以覆盖所述有源层；和同时将所述第一导电层和所述第二导电层图案化到栅极底部电极和栅极顶部电极内以形成所述栅电极，并图案化到焊盘底部电极和焊盘顶部电极内以形成所述第二电极单元。所述第四掩模操作可以包括：在所述层间绝缘层上形成第三导电层；通过图案化所述第三导电层形成所述源电极和所述漏电极；和除去所述第二导电层的构成所述第一电极单元的部分以形成由所述第一导电层形成的所述像素电极，并且除去所述焊盘顶部电极的构成所述第二电极单元的部分以形成包括使所述焊盘底部电极暴露的开口和由所述第二导电层形成的所述电极图案的所述焊盘电极。所述第三掩模操作可以包括在所述第一电极单元和所述第二电极单元、所述栅电极以及所述焊盘电极上形成所述第二绝缘层；和图案化所述第二绝缘层以形成所述接触孔、使所述第一电极单元的部分暴露的所述开口、使具有预定形状的所述绝缘图案和所述第二电极单元的部分暴露的开口。所述第五掩模操作可以包括在所述基板的整个表面上形成第三绝缘层以覆盖所述源电极和所述漏电极；和通过图案化所述第三绝缘层形成所述像素限定层。所述第一掩模操作可以进一步包括在所述基板上形成由与所述有源层相同的层组成的电容器底部电极。所述第二掩模操作可以进一步包括在所述电容器底部电极上形成电容器顶部电极。在所述第五掩模操作之后，该方法可以进一步包括在所述像素电极上形成中间层和对立电极，所述中间层包括发射层。附图说明通过参照附图详细描述其示例性实施例，上面和其它特征以及优点将变得更加明显，在附图中：图1为图示根据实施例的有机发光显示装置的示意平面图；图2为图示根据实施例的沿图1的线II-II’截取的有机发光显示装置的一部分的截面图；图3至图11为图示根据实施例的制造图2的有机发光显示装置的方法的截面图；图12A、图12B和图12C为图示根据实施例的包含于图2的有机发光显示装置中的焊盘电极的详细视图；以及图13、图14A、图14B、图14C、图15和图16为图示根据其它实施例的包含于图2的有机发光显示装置中的焊盘电极的详细视图。具体实施方式在附图中将图示实施例并且在书面说明中将详细描述实施例。不过，实施例的说明并不旨在限制于实际的具体模式。应该理解，所有未脱离其精神和技术范围的变化、等同和替代都被包含于此。在说明中，当认为相关技术的某些具体解释可不必要混淆其本质时，则省略它们。虽然例如“第一”、“第二”等之类的术语可用于描述多种组成元件，但组成元件不受这些术语限制。使用这些术语的目的仅在于将一个组成元件与另一个组成元件区分开来。在本申请文件中使用的术语仅仅用于描述实施例，并不旨在限制本专利技术。单数中使用的表达包含复数的表达，除非在上下文中它具有明显不同的含义。在本申请文件中，应该理解，例如“包括”或者“具有”等的术语旨在指示申请文件所公开的特征、数目、步骤、动作、组件、部件或其组合的存在，并不旨在排除一个以上其它特征、数目、步骤、动作、组件、部件或其组合可能存在或可能被增加的可能性。将参照其中示出了示例性实施例的附图更加全面地描述实施例。图1为图示根据实施例的有机发光显示(OLED)装置1的示意平面图。参照图1，有机发光显示装置1可包括包含多个发光像素的第一基板10和通过密封可粘附到第一基板10的第二基板70。薄膜晶体管(TFT)、有机发光器件EL以及电容器Cst可被形成在第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机发光显示装置，包括：薄膜晶体管，包括有源层、包括栅极底部电极和栅极顶部电极的栅电极、绝缘层、位于所述绝缘层上以接触所述有源层的源电极和漏电极；有机发光器件，被电连接到所述薄膜晶体管，且包括由与所述栅极底部电极相同的层组成的像素电极、包括发射层的中间层以及对立电极，所述像素电极、所述中间层和所述对立电极依次层叠；和焊盘电极，包括由与所述栅极底部电极相同的层组成的焊盘底部电极和由与所述栅极顶部电极相同的层组成的焊盘顶部电极，其中所述焊盘顶部电极包括使所述焊盘底部电极暴露的开口，以及由与所述焊盘顶部电极相同的层组成的电极图案和覆盖所述电极图案的上表面且由与所述绝缘层相同的层组成的绝缘图案，其中所述电极图案和所述绝缘图案被形成在所述焊盘底部电极的通过所述开口被暴露到外部的上表面上。

【技术特征摘要】
2011.06.28 KR 10-2011-00630491.一种有机发光显示装置，包括：薄膜晶体管，包括有源层、包括栅极底部电极和栅极顶部电极的栅电极、绝缘层、位于所述绝缘层上以接触所述有源层的源电极和漏电极；有机发光器件，被电连接到所述薄膜晶体管，且包括由与所述栅极底部电极相同的层组成的像素电极、包括发射层的中间层以及对立电极，所述像素电极、所述中间层和所述对立电极依次层叠；和焊盘电极，包括由与所述栅极底部电极相同的层组成的焊盘底部电极和由与所述栅极顶部电极相同的层组成的且位于所述焊盘底部电极上的焊盘顶部电极，其中所述焊盘顶部电极使所述焊盘底部电极的上表面的一部分暴露，以及由与所述焊盘顶部电极相同的层组成的电极图案和覆盖所述电极图案的上表面且由与所述绝缘层相同的层组成的绝缘图案，其中所述电极图案和所述绝缘图案被形成在所述焊盘底部电极的所述上表面上并且使所述焊盘底部电极的所述上表面的另一部分暴露，其中所述焊盘底部电极的所述上表面的所述另一部分和所述电极图案的侧部被配置为被电连接到提供电流以驱动所述有机发光显示装置的驱动器IC。2.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述焊盘底部电极的所述上表面的所述另一部分和所述电极图案的所述侧部被配置为通过导电球被电连接到所述驱动器IC。3.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述电极图案被连接到所述焊盘顶部电极。4.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述电极图案从所述焊盘顶部电极伸出到所述焊盘底部电极的至少中央部位。5.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述电极图案包括使所述焊盘底部电极下方暴露的通孔。6.根据权利要求5所述的有机发光显示装置，其中所述焊盘底部电极和所述电极图案的侧部被配置为通过布置在所述通孔中的导电球被电连接到驱动器IC，且所述通孔的最大宽度大于所述导电球的最大宽度。7.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述电极图案包括被连接到所述焊盘顶部电极的至少一个杆。8.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述电极图案和所述绝缘图案具有相同的图案。9.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述焊盘电极通过布线被电连接到所述薄膜晶体管或所述有机发光显示装置。10.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述焊盘底部电极包括比所述焊盘顶部电极和所述电极图案具有更好耐腐蚀性的材料。11.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中，所述栅极底部电极、所述像素电极以及所述焊盘底部电极包括透明导电金属氧化物，并且所述栅极顶部电极、所述焊盘顶部电极以及所述电极图案包括Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、Li、Ca、Mo、Ti、W、MoW和Cu中的至少一种。12.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，进一步包括电容器，所述电容器包括由与所述有源层相同的层组成的电容器底部电极和由与所述栅极...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴鲜，朴钟贤，李律圭，朴景薰，文相皓，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：