彩色滤光基板以及其相关制作方法技术

本发明专利技术公开了一种彩色滤光基板的制作方法，用来制作一彩色滤光基板，所述制作方法包含：提供一玻璃基板；于所述玻璃基板上，形成一黑色矩阵层；于所述玻璃基板与所述黑色矩阵层上，沉积一彩色膜层；利用具有多种透光率的一掩膜，以对所述彩色膜层进行不同程度的曝光显影；以及根据曝光显影的结果，来蚀刻所述彩色膜层，以使所述彩色膜层与所述黑色矩阵层重叠的一第一区域被部分蚀刻，以及所述彩色膜层与所述黑色矩阵层重叠的一第二区域被完全蚀刻。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种显示器技术，尤其涉及一种。
技术介绍
液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)轻、薄、低耗电等优点,被广泛应用于计算机、移动电话及个人数字助理等现代化信息设备。一般来说，液晶显示器包含液晶显示面板及背光模块(backlight module),由于液晶显不面板自身不会发光，因此液晶显不器必须仰赖背光模块内的光源来发出光线。由背光模块内的光源所发出的光线，经过液晶显示面板的液晶，藉由液晶的转向，来调整传递至使用者的光线强度，进而输出影像。彩色滤光基板是液晶显示器中不可或缺的零件，一般彩色滤光基板会放置在光源之前，藉由彩色滤光基板的滤光，可使光源的光线分离成为红绿蓝三原色，藉此，液晶显示 器方能显示彩色影像。请参阅图1，图I绘示了现有彩色滤光基板100的结构。彩色滤光基板100包含了玻璃基板110、黑色矩阵层120、红色膜层131、绿色膜层132、以及蓝色膜层133。红色膜层131、绿色膜层132以及蓝色膜层133合称为彩色膜层，液晶显示器便是藉由这彩色膜层，来分离出红绿蓝三原色的光，以显示彩色影像。在图I中可以见到红色膜层131、绿色膜层132以及蓝色膜层133与黑色矩阵层120具有重叠的区域。在制作彩色滤光基板100时，为了避免彩色膜层边缘漏光，因此会使彩色膜层与黑色矩阵层120有一定的重叠区域。然而，让彩色膜层与黑色矩阵层120部分重叠的制作方式，由于没有完全将这些重叠区域藉由蚀刻的方式去除之，因此会导致彩色膜层与黑色矩阵层120的重叠区域的高度高于未重叠的区域。也就是说，彩色膜层与黑色矩阵层120的重叠区域会形成一个突起，进而造成这些彩色膜层的角段差d。此角段差d可能会影响子像素(sub-pixel)边缘处液晶的排列效果。因此，业界必须提出其他的方式，来解决这样的问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种彩色滤光基板以及其相关制作方式，其藉由具有不同透光率的掩膜，来制作彩色膜层，因此，彩色膜层在制作过程中会经过不同程度的曝光显影，如此一来，在其后的蚀刻过程中，就会对彩色膜层不同区域有不同的蚀刻程度，进而使彩色膜层与黑色矩阵层的重叠区域的高度大致等于未重叠的区域。如此一来，便可消除现有技术彩色膜层的角段差问题，使得子像素边缘处的液晶排列效果更佳。为了解决现有技术的问题，本专利技术提供了一种彩色滤光基板的制作方法，用来制作一彩色滤光基板，所述制作方法包含提供一玻璃基板；于所述玻璃基板上，形成一黑色矩阵层；于所述玻璃基板与所述黑色矩阵层上，沉积一彩色膜层；利用具有多种透光率的一掩膜，以对所述彩色膜层进行不同程度的曝光显影；以及根据曝光显影的结果，来蚀刻所述彩色膜层，以使所述彩色膜层与所述黑色矩阵层重叠的一第一区域被部分蚀刻，以及所述彩色膜层与所述黑色矩阵层重叠的一第二区域被完全蚀刻。其中，所述掩膜为一半色调掩膜。其中，所述彩色膜层包含一红色膜层、一蓝色膜层以及一绿色膜层。此外，产生所述彩色膜层的步骤包含于所述玻璃基板与所述黑色矩阵层上产生所述红色膜层，利用所述掩膜，对所述红色膜层进行不同程度的曝光显影；以及根据曝光显影的结果，来蚀刻所述红色膜层。本专利技术又提供了一种彩色滤光基板，包含一玻璃基板；一黑色矩阵层，位于所述玻璃基板上；以及一彩色膜层，位于所述玻璃基板以及所述黑色矩阵层上；其中，所述彩色膜层与所述黑色矩阵层的重叠处与未重叠处的高度大致相等。其中，所述彩色膜层与所述黑色矩阵层的重叠处与未重叠处的高度大致相等，是藉由利用具有多种透光率的一掩膜，以对所述彩色膜层进行不同程度的曝光显影，并蚀刻所述彩色膜层制作而成。并且，所述掩膜为一半色调掩膜。 其中，所述彩色膜层包含一红色膜层、一蓝色膜层、以及一绿色膜层。本专利技术具有如下有益效果本专利技术提供一种彩色滤光基板与相关制作方式，其藉由具有不同透光率的掩膜，来制作彩色膜层。因此，彩色膜层在制作过程中会经过不同程度的曝光显影，如此一来，在其后的蚀刻过程中，就会对彩色膜层不同区域有不同的蚀刻程度，进而使彩色膜层与黑色矩阵层的重叠区域的高度大致等于未重叠的区域。如此一来，便可消除现有技术彩色膜层的角段差问题，使得子像素边缘处的液晶排列效果更佳。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I绘示现有彩色滤光基板的结构。图2绘示本专利技术彩色滤光基板的示意图。图3-图9为图2彩色滤光基板的制程示意图。具体实施例方式以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本专利技术可用以实施之特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「顶」、「底」、「水平」、「垂直」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。请参阅图2，图2为本专利技术彩色滤光基板400的示意图。彩色滤光基板400包含有玻璃基板410、黑色矩阵层420、红色膜层431、绿色膜层432、以及蓝色膜层433。红色膜层431、绿色膜层432以及蓝色膜层433合称为彩色膜层。液晶显示器便是藉由这彩色膜层，来分离出红绿蓝三原色的光，以显示彩色影像。然而，于本实施例中，彩色膜层本身不具有角段差，以红色膜层431为例，红色膜层431与黑色矩阵层420重叠的第一区域Dl中，其高度大致等于未重叠的第二区域D2，而不具有角段差。这是由于本专利技术在制作彩色膜层时采用了特殊的制程方式，此制程方式将于下面的揭露中陈述。请参阅图3_图7,图3_图7为图2彩色滤光基板400的制程不意图。首先请参阅图3，在玻璃基板410上产生一层色阻层(之后的黑色矩阵层)，接着，对所述色阻层进行曝光显影与蚀刻，以产生黑色矩阵层420。请参阅图4。沉积红色膜层431于玻璃基板410和黑色矩阵层420之上。接下来，利用半色调掩膜(half-tone mask) 510对红色膜层431进行曝光显影。半色调掩膜510在不同区域具有不同的透光率，举例来说，半色调掩膜510具有三个区域A1、A2和A3，区域Al表示部分光线可以透过的区域，区域A2表示光线无法透过的区域，区域A3表示全部光线可以透过的区域。因此，本专利技术可适当的利用半色调掩膜，以对红色膜层431各个区域进行不 同的曝光显影。举例来说，将半色调掩膜510的区域Al对准红色膜层431欲部分去除的区域(亦即图2的第一区域Dl)，将半色调掩膜510的区域A2对准红色膜层431欲全部去除的区域(亦即图2的第二区域D2)，将半色调掩膜510的区域A3对准红色膜层431完全无须去除的区域(亦即图2的第三区域D3)。因为半色调掩膜510各个区域A1-A3的透光率不同，因此光致抗蚀剂330会依据透光率的不同形成不同强度的光阻。之后，以化学溶剂冲刷以去除第一区域Dl的部分红色膜层431以及第二区域D2的全部红色膜层431。至于第三区域D3的红色膜层431因为有光阻的保护而得以全部保留。最后，再以另一化学溶剂将光阻移除。在图5可以清楚见到，在进行之后的蚀刻时，由于之前进行了不同程度的曝光显影，因此在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种彩色滤光基板的制作方法，用来制作一彩色滤光基板，所述制作方法包含：提供一玻璃基板；于所述玻璃基板上，形成一黑色矩阵层；其特征在于：所述制作方法另包含：于所述玻璃基板与所述黑色矩阵层上，沉积一彩色膜层；利用具有多种透光率的一掩膜，以对所述彩色膜层进行不同程度的曝光显影；以及根据曝光显影的结果，来蚀刻所述彩色膜层，以使所述彩色膜层与所述黑色矩阵层重叠的一第一区域被部分蚀刻，以及所述彩色膜层与所述黑色矩阵层重叠的一第二区域被完全蚀刻。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：袁继旺，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：