【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于直线度的光学自动检测领域,具体涉及一种光栅尺尺壳直线度的非接触式光学自动检测装置。
技术介绍
光栅尺的尺壳采用拉制铝为材料,由铝型材厂拉制生产完成。在拉制成型的过程中,尺壳的表面会出现弯曲变形,导致尺壳表面产生直线度误差,此误差对光栅尺的全长累计误差和小周期误差都会产生很大的影响,严重影响光栅尺的精度和质量。现有的光栅尺尺壳直线度检测多采用接触式检测方法,由于检测头自身存在一定误差,并且在测量的过程中接触产生的力导致尺壳的微小形变也会影响光栅尺尺壳检测精度。因此,提高对光栅尺尺壳的检测精度,对生产并筛选出精度合格的光栅尺具有重要意义。
技术实现思路
为解决现有光栅尺尺壳直线度检测多采用接触式检测方法,检测头自身存在一定误差,同时在接触测量的过程中接触产生的力导致尺壳微小形变,严重影响光栅尺尺壳检测精度的技术问题,本专利技术提供一种光栅尺尺壳直线度的非接触式光学自动检测装置。本专利技术解决技术问题所采取的技术方案如下光栅尺尺壳直线度的非接触式光学自动检测装置包括电脑、采集卡、CXD摄像头、物镜、光源、聚光镜、镀膜玻璃、直线平动机构、夹具和基座;光源、聚 ...
【技术保护点】
一种光栅尺尺壳直线度的非接触式光学自动检测装置,其特征在于:该检测装置包括电脑(1)、采集卡(2)、CCD摄像头(3)、物镜(4)、光源(5)、聚光镜(6)、镀膜玻璃(7)、直线平动机构(8)、夹具(10)和基座(11);光源(5)、聚光镜(6)、镀膜玻璃(7)、物镜(4)、CCD摄像头(3)与直线平动机构(8)共同构成光学检测系统;夹具(10)与基座(11)固定连接,其将光栅尺尺壳(9)夹紧并放置于镀膜玻璃(7)的下方,直线平动机构(8)的运动方向与光栅尺尺壳(9)平行;?所述的镀膜玻璃(7)为平板玻璃,其下表面设有镀膜的反射膜区(7?1)和未镀膜的非反射膜区(7?2), ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:谭向全,张吉鹏,孙强,白晶,张翼飞,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:
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