【技术实现步骤摘要】
本技术属连续式气氛烧结炉
,特别是针对推板式连续气氛烧结炉的内输送道炉床结构的崭新设计,具有避免轨道变形、避免推板板翘及減少温度梯度而达均温的功效。
技术介绍
按,在电子元件或粉末冶金材料的制备エ艺中,需导入不同的气氛气体于窑炉内烧结或热处理,烧结或热处理是ー个相当重要的エ艺,因为烧结或热处理工艺攸关电子元件或粉末冶金材料产品品质的好坏。本技术专利技术人先前以连续式气氛烧结炉来达成严控炉内烧结气氛的要求,如第097204412号「连续式真空气氛烧结炉」、第093216847号「推·板式连续气氛烧结炉」···等。以第093216847号专利为例,该专利主要由炉体、内输送道、夕卜输送道及交換系统所构成,该内输送道设于炉体内部,并连结设于炉体ニ侧的交换系统,夕卜输送道设于炉体外部,并连结炉体ニ侧的交换系统,以做为置放待烧结电子元件载具的输送平台,该炉体为密闭式,并导入保护或反应用气氛气体,且依エ艺区分有升温烧结段与冷却段,升温烧结段内具有耐热材及视烧结程序所需温度的加热元件,冷却段具有冷却装置,该设于炉体ニ侧的交换系统各具有二道气密门,并形成一交換室,当载具被送 ...
【技术保护点】
一种炉床结构,其特征在于,主要于推板式连续气氛烧结炉的轨道支撑座二侧相对位置上设置侧轨,二侧轨内侧的轨道支撑座上设数道底轨,侧轨及底轨间具有凹部做为推板行进的轨道,且所述侧轨及底轨具有中空部。
【技术特征摘要】
1.一种炉床结构,其特征在于,主要于推板式连续气氛烧结炉的轨道支撑座二侧相对位置上设置侧轨,二侧轨内侧的轨道支撑座上设数道底轨,侧轨及底轨间具有凹部做为推板行进的轨道,且所述侧轨及底轨具有中空部。2.如权利要求I所述的炉床结构,其特征在于,该底轨及侧轨呈长条状。3.如权利要求2所述的炉床结构,其特征在于,该相邻的底轨与侧轨间...
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