光学麦克风制造技术

本发明专利技术涉及光学麦克风。一些实施例涉及一种根据示例性实施例的光学麦克风。该光学麦克风包括半导体激光器。该半导体激光器包括在空腔内的p-n结。该光学麦克风进一步包括声学膜，其接收从该半导体激光器发射的相干光，并引导反射光朝向该半导体激光器回退。在该光学麦克风的操作期间，该声学膜响应于压力波而弯曲。该反射光的相位取决于该声学膜与该半导体激光器的距离。

【技术实现步骤摘要】

实施例涉及麦克风。更具体地，实施例涉及光学麦克风。
技术介绍
许多现有的商业MEMs麦克风通过使用电容传感技术测量电容来感测柔性膜片上的声压力波。为了获得可测量的电容，大多数MEMs麦克风典型地需要尺寸至少为I.5mmX I. 5mmX 1mm 的膜片。此外，为了容纳内部放大器，通常大多数MEMs麦克风需要额外的面积。用于容纳内部放大器所需的额外面积的量典型地取决于内部放大器的复杂性。 从MEMs麦克风正常输出的电压信号电平通常需要被增强，以便达到在与环境噪声相关联的电压信号电平之上的足够高的电平(例如，毫伏)。附图说明在附图中通过举例而非限制的方式描述了一些实施例。图I为图不根据不例实施例的光学麦克风的图。图2为图I所示的光学麦克风沿线2-2所取的剖面图。图3是图示图2中所示的光学麦克风的一部分的放大示意剖面图，其中声学膜到半导体激光器的孔(aperture)距离为一个波长。图4示出了图3的放大示意剖面图，其中声学膜由于暴露于声学压力波而波动。具体实施例方式下面的详细描述包括对附图的参考，这形成了该详细描述的一部分。所述附图以说明的方式，示出了可以实践本专利技术的具体实施例。这里本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学麦克风，包括：半导体激光器，其包括在空腔内的p？n结；以及声学膜，其接收从该半导体激光器发射的相干光，并引导反射光朝向该空腔回退，该反射光的相位取决于该声学膜与该空腔的距离。

【技术特征摘要】
2011.06.16 US 13/1621691.一种光学麦克风，包括 半导体激光器，其包括在空腔内的P-η结；以及 声学膜，其接收从该半导体激光器发射的相干光，并引导反射光朝向该空腔回退，该反射光的相位取决于该声学膜与该空腔的距离。2.如权利要求I所述的光学麦克风，其中该半导体激光器是垂直腔面发射激光器。3.如权利要求I所述的光学麦克风，其中该声学膜响应于压力波而弯曲。4.如权利要求I所述的光学麦克风，进一步包括电流源，用于为该半导体激光器供电，以使得当该半导体激光器在激光阈值之上时，在P-η结处产生电压。5.如权利要求4所述的光学麦克风,其中在该声学膜由于作用于该声学膜的声压力波而波动时，该反射光经历相位变化，并且其中在该反射光在该空腔内与该相干光混合时，该p-n结处的...

【专利技术属性】
技术研发人员：L·卢斯特，D·杨纳，D·卡尔森，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：