一种显影液监控方法及设备技术

本发明专利技术实施例提供一种显影液监控方法及设备，涉及液晶显示技术领域，可以有效准确地监控显影液的显影效果。该设备包括：显影液槽，放置待显影基板的基板支撑架；待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶；还包括：光检测单元，所述光检测单元在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；和与所述光检测单元电连接的处理单元，用于根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。本发明专利技术实施例用于监控显影液的显影效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示
，尤其涉及一种显影液监控方法及设备。
技术介绍
在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,薄膜场效应晶体管液晶显示器)的生产过程中，通常需要通过构图工艺形成阵列基板上的电路图案。显影作为构图工艺中一道重要的工序，曝光图样只有通过显影液的作用才会显现出来。显影液通过一定的化学反应，可以将透明基板上经掩膜板曝光后所形成图案中不需要的部分的光刻胶显影刻蚀掉。为了确保显影的效果，显影液的质量显得尤为重要，在现有的大多数显影系统中，显影液是循环使用的，随着显影液使用次数的增加，显影液会逐渐被污染，显影效果明显降低。为了保证显影液的质量，有些厂商将使用一次或使用少数几次后的显影液直接排掉，这样虽然是提高了产品的良率，但是减少了显影液的循环使用次数，增加了显影液的使用量，大大增加了产品的成本。为了在保证产品良率的同时提高显影液的利用率，可以在 显影液循环使用的过程中对显影液的显影效果进行实时监控，动态调节显影液的浓度以达到较优的显影效果。在现有技术中，对显影液质量的监控主要可以通过测量显影液的浓度和光阻浓度来实现。但由于不同显影液的组分配比也各不相同，现有的显影液监控系统由于是针对显影液中的多种组分进行监控，难以直观准确地反映出显影液的显影效果。显影液监控系统不能直观有效地对显影液的显影效果进行评估就难免会造成显影液的浪费，或造成显影液显影效果的不良。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种显影液监控方法及设备，可以有效准确地监控显影液的显影效果。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案本专利技术实施例的一方面，提供一种显影液监控设备，包括用于盛放显影液的显影液槽，和位于所述显影液槽中的放置待显影基板的光线可透的基板支撑架；其中，所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶；还包括光检测单元，所述光检测单元在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；和与所述光检测单元电连接的处理单元，用于根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。本专利技术实施例的另一方面，提供一种显影液监控方法，应用于待显影基板在显影液中进行显影的过程，其中，所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶，包括在所述待显影基板浸入显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。本专利技术实施例提供的显影液监控方法及设备，应用于待显影基板浸入显影液进行显影的过程中，光检测单元在待显影基板浸入显影液后的规定时间内向该待显影基板的显影区域发射检测光线，与该光检测单元电连接的处理单元根据该检测光线确定显影区域发生显影的时间间隔，将该时间间隔与预设的时间范围作比较即可以确定该显影液是否已经失效。采用这样一种显影液监控方法，通过直接对光刻胶的脱落过程进行检测，可以在显影液循环使用的过程中有效准确地监控显影液的显影效果，从而在避免了显影液浪费的同时确保了显影液的显影效果。这样一来，不但降低了产品的生产成本，还大大提高了产品的质量。附图说明 为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本专利技术实施例提供的一种显影液监控设备的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的另一显影液监控设备的局部结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的另一显影液监控设备的局部结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的又一显影液监控设备的局部结构示意图；图5为图4所示的显影液监控设备的底部方向的局部仰视图；图6为本专利技术实施例提供的一种显影液监控方法的流程示意图；图7为本专利技术实施例提供的另一显影液监控方法的流程示意图；图8为本专利技术实施例提供的又一显影液监控方法的流程示意图。具体实施例方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例提供的显影液监控设备10，如图I所示，包括用于盛放显影液的显影液槽11，和位于显影液槽11中的放置待显影基板12的光线可透的基板支撑架13 ;其中，待显影基板12上涂布有第一颜色的光刻胶121。如图I所示，还包括光检测单元14，该光检测单元14在待显影基板12浸入显影液后的规定时间内向待显影基板12的显影区域(图I中A区域)发射检测光线。与光检测单元14电连接的处理单元(图中未示出)，用于根据该检测光线确定该显影区域发生显影的时间间隔，若确定该时间间隔不在预设时间范围内，则确定该显影液失效。本专利技术实施例提供的显影液监控设备，应用于待显影基板浸入显影液进行显影的过程中，检测单元在待显影基板浸入显影液后的规定时间内向该待显影基板的显影区域发射检测光线，与该光检测单元电连接的处理单元根据该检测光线确定显影区域发生显影的时间间隔，将该时间间隔与预设的时间范围作比较即可以确定该显影液是否已经失效。采用这样一种显影液监控方法，通过直接对光刻胶的脱落过程进行检测，可以在显影液循环使用的过程中有效准确地监控显影液的显影效果，从而在避免了显影液浪费的同时确保了显影液的显影效果。这样一来，不但降低了产品的生产成本，还大大提高了产品的质量。其中，光检测单元14可以采用任意一种现有的光线检测装置。例如，光检测单元14可以为一对相向设置的光发射器和光接收器，如图2所示，光检测单元14具体可以包括设置在基板支撑架13 —侧的光发射模块141，光发射模块141在待显影基板12浸入显影液后的规定时间内向待显影基板12的显影区域发射第二颜色的检测光线；和设置在基板支撑架13的另一侧，与光发射模块141相向设置的光接收模块142，用于接收光发射模块141发出的光线。例如，光发射模块141可以采用光线发生器或激光器来向基板上预设的检测区域 发射检测光，光接收模块142可以采用光线接收器或其他光线传感器接收该检测光。其中，光线发生器与光线接收器的位置严格对应，分别位于涂布光刻胶的待显影基板12的两侧，这样一来，当显影区域的光刻胶在显影液的作用下脱落时，光线发生器所发射的检测光将透过待显影基板12照射到光线接收器上，当该光线接收器接收到检测光时，即可以确定光刻胶在显影液的作用下已脱落。相应的,处理单兀具体还可以用于获取光发射模块141发射光线的第一时刻和光接收模块142接收到光线的第二时刻，并计算得到该第一时刻与该第二时刻之间的时间间隔，若确定该时间间隔不在预设时间范围内，则确定该显影液失效。采用这样一种显影液监控方法，通过直接对光刻胶的脱落过程进行检测，可以在显影液循环使用的过程中有效准确地监控显影液的显影效果，从而在避免了显影液浪费的同时确保了显影液的显影效果。这样一来，不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影液监控设备，包括用于盛放显影液的显影液槽，和位于所述显影液槽中的放置待显影基板的光线可透的基板支撑架；其中，所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶；其特征在于，还包括：光检测单元，所述光检测单元在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；和与所述光检测单元电连接的处理单元，用于根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。

【技术特征摘要】
1.一种显影液监控设备，包括用于盛放显影液的显影液槽，和位于所述显影液槽中的放置待显影基板的光线可透的基板支撑架；其中，所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶；其特征在于，还包括 光检测单元，所述光检测单元在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线；和 与所述光检测单元电连接的处理单元，用于根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。2.根据权利要求I所述的显影液监控设备，其特征在于，所述光检测单元包括 设置在所述基板支撑架一侧的光发射模块，所述光发射模块在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射第二颜色的检测光线；和设置在所述基板支撑架的另一侧，与所述光发射模块相向设置的光接收模块，用于接收所述光发射模块发出的所述光线。3.根据权利要求2所述的显影液监控设备，其特征在于，所述处理单元还用于 获取所述光发射模块发射所述光线的第一时刻和所述光接收模块接收到所述光线的第二时刻，并计算得到所述第一时刻与所述第二时刻之间的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。4.根据权利要求2或3所述的显影液监控设备，其特征在于，所述显影液监控设备还包括 设置在所述基板支撑架一侧的颜色传感单元，所述颜色传感单元用于在所述第二时刻后向所述待显影基板的显影区域发射色度检测光线；根据所述色度检测光线确定所述显影区域的色度值； 相应的，所述处理单元与所述颜色传感单元电连接，还用于若确定所述色度值不在预设色度范围内，则确定所述显影液失效。5.根据权利要求I所述的显影液监控设备，其特征在于，所述光检测单元包括 设置在所述基板支撑架一侧的颜色传感模块，所述颜色传感模块在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射色度检测光线；接收所述显影区域的反射光线；根据所述反射光线确定所述显影区域的色度值。6.根据权利要求5所述的显影液监控设备，其特征在于，所述处理单元还用于 获取所述颜色传感模块发射所述光线的第一时刻和所述显影区域的色度值变化至预设色度范围的第二时刻，并计算得到所述第一时刻与所述第二时刻之间的时间间隔，若确定所述时间间隔不在预设时间范围内，则确定所述显影液失效。7.根据权利要求I所述的显影液监控设备，其特征在于，所述处理单元还用于 若确定所述时间间隔大于第一预设时间，则确定所述显影液的浓度值低于预设浓度值； 若确定所述时间间隔小于第二预设时间，则确定所述显影液的浓度值高于所述预设浓度值； 其中，所述第一预设时间大于所述第二预设时间。8...

【专利技术属性】
技术研发人员：王灿，王伟杰，何璇，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：