成膜装置和成膜方法制造方法及图纸

在喷墨方式成膜装置(100)中，具备：头部(50)，其具有横穿基板(20)的长度并包括对基板(20)排出溶液的喷嘴(72)；载置台(10)，其保持基板(20)；移动装置(30)，其使头部(50)和载置台(10)相对地移动；以及控制装置(35)，其控制移动装置(30)的移动，控制装置(35)执行以下步骤：第1步骤(a)，将头部(50)配置在基板(20)的中央区域(21)的上方；第2步骤(b)，使头部(50)按照第1方向移动到基板(20)的第1端部(25a)；第3步骤(c)，使头部(50)按照第2方向移动到第2端部(25b)；以及第4步骤(d)，使头部(50)按照第1方向移动到基板(20)的中央区域(21)。根据该构成，能缓和在喷墨方式的涂敷中未涂敷区域的发生。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及，特别涉及用喷墨方式对基板涂敷溶液的。而且，本专利技术涉及用喷墨方式形成液晶面板的取向膜等的。此外，本申请主张以2010年3月26日提出申请的日本专利申请2010-73423号为基础的优先权，该申请的全部内容作为参照被编入本说明书中。
技术介绍
作为液晶显示装置的构成部件的液晶面板具有使一对基板在确保规定间隔的状态下相对的结构。在该基板之间的间隔中封入包括液晶分子的液晶层。另外，在两基板的液晶层侧的表面形成有使液晶分子取向的取向膜。 该取向膜通过向基板表面涂敷包括聚酰亚胺的溶液来形成。作为向基板涂敷聚酰亚胺溶液的方法，除了旋涂法和喷雾法以外，提出了喷墨法(例如，专利文献I等)。图I的(a)和(b)示出在用喷墨法形成取向膜时所使用的喷墨涂敷装置(成膜装置)1000。在图I的(a)和(b)中示出的成膜装置1000是在专利文献I中公开的装置。在此，图I的(a)示出成膜装置1000的侧面，另一方面，图I的(b)示出成膜装置1000的正面。在图I的(a)和(b)中示出的成膜装置1000包括具有脚102的基座101 ;和设置在基座101的上面的装配板103。在装配板103上设有引本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫浦博彰，盐崎唯史，新畑宏晃，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：