化学机械研磨机的载具膜的冲孔模具以及适用于此模具的预防保养方法技术

本发明专利技术提供一种化学机械研磨机的载具膜的冲孔模具以及适用于此模具的预防保养方法。本发明专利技术的冲孔模具，用以在载具膜上冲孔，其包括基座、第一板以及第二板。基座用以承载载具膜，第一板以可于第一位置和第二位置的间移动的方式设置于基座上，其中当第一板位于第二位置时，第一板与载具膜抵接；第二板具有复数个冲头以可于第三位置和第四位置之间移动的方式设置于基座上，其中当第二板位于第三位置时，第一板位于第一位置，当第二板位于第四位置时，第一板位于该二位置时，且冲头穿过第一板而在载具膜上冲孔。由本发明专利技术的冲孔模具以及适用于此模具的预防保养方法，可缩减停机时间，并可提高效率，简化预防保养程序。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种化学机械研磨机的载具膜的冲孔模具，特别是指一种可大幅提高效率且可简化程序的载具膜的冲孔模具，以及适用于此模具的预防保养方法。图2a、图2b为研磨载具的示意图，其中图2a显示与附图说明图1中的研磨主轴1连接的一面，研磨载具4主要由一本体41、一导环42以及一上盖43所组成，其中上盖43与本体41之间形成一密闭空间，由上盖43上的接头431与抽气系统(未图示)连接，使研磨载具4上的抽气孔411(参考图3f、图3g)具有吸着晶圆的吸力。本体41与上盖43间由复数个螺丝44相互连接，本体41与导环42间则由复数个螺丝45相互连接。图2b显示与图1中的研磨垫5接触的一面，且在图中导环42已被拆下。在此面上，贴设有一载具膜(backingfilm)7，在图中的载具膜7尚未被打孔。又，图2c图显示一在黏贴于研磨载具4前的载具膜7，其具有一黏贴面71，此黏贴面71在未使用前由一纸片72覆盖。以下参考图3a、图3b、图3c、图3d、图3e、图3f、图3g和图3h说明习知载具膜更换过程。首先，将研磨载具4从如图1所示的研磨主轴1上拆下，如图3a所示。接着，将导环42以及上盖43分别从本体41拆下后，将使用过的载具膜撕下，且将如图2c所示的新载具膜7放置于研磨载具4将与研磨垫5接触的一面上，如图3b图所示。然后，操作员将载具膜7与研磨载具4的表面对齐，并将小部分纸片72与载具膜7的黏贴面71分离，如图3c所示。图3d显示载具膜7黏贴于研磨载具4的过程，接着利用滚筒8将载具膜7完全平贴于研磨载具4上，如图3e所示。在将载具膜7黏贴于研磨载具4后，即开始载具膜7钻孔过程，参考图3f、图3g、图3h，操作员利用0.5mm的钻头9穿过抽气孔411以在载具膜7的相对位置上钻孔。接着将研磨载具4上下颠倒，再利用0.7mm的钻头9穿过已被钻出的孔，以使孔洞更为平顺。重复图3f、图3g、图3h的步骤，直到所有对应于抽气孔的孔洞均被钻出。当钻孔步骤完成后，再将导环42和上盖43安装于本体41上，并将研磨载具4整体安装于研磨主轴1上，即完成此更换步骤。然而，上述的习知载具膜更换步骤具有下列缺点1.钻孔过程不仅困难且费工时，同时容易产生毛边不良，进而造成PM(preventive maintenance)品质不稳，效率不彰，研磨载具的PM的停机时间长，而使生产延误；2.上述的毛边不良极可能引起吹片失误，严重时造成晶圆研磨不良甚至破损及当机；3.利用习知方法在将载具膜贴附于研磨载具时，会产生定位不易的问题。4.钻头价格昂贵且容易磨损，而提高成本。
技术实现思路
有鉴于上述问题，本专利技术欲提供一种，其可大幅提高效率且可简化程序。在本专利技术中，提供一种化学机械研磨机的载具膜的冲孔模具，用以在载具膜上冲孔，而冲孔模具包括用以承载载具膜的基座；以可于第一位置和第二值置之间移动的方式设置于基座上的第一板，当第一板位于第二位置时，第一板与载具膜抵接；以及具有复数个冲头的第二板，以可于第三位置和第四位置之间移动的方式设置于基座上，当第二板位于第三位置时，第一板位于第一位置，当第二板位于第四位置时，第一板位于第二位置时，且冲头穿过第一板而在载具膜上冲孔。又在本专利技术中，第一板具有复数个导引孔，且导引孔分别与第二板的冲头对应；基板具有凹陷部，用以放置载具膜。又在本专利技术中，模具更包括与第二板连接的汽缸，用以移动第一板和第二板设置于基座上的复数个导引杆用以导引第一板和第二板移动；以及分别连接第一板和第二板的复数个连结件，用以使第一板和第二板相对移动。又在本专利技术中，第一板具有复数个第一穿孔，第二板具有分别与第一穿孔对应的复数个第二穿孔，由第一穿孔和第二穿孔，导引杆分别穿过第一板和第二板。又在本专利技术中，连结件分别包括开口，用以与第一板与第二板连接，以使第一板与第二板可相对移动。又在本专利技术中，模具更包括与汽缸连通的供气装置用以供应气体至汽缸；分别与供气装置电性连接的两控制钮，其中当控制钮被同时作动时，供气装置供应气体至汽缸以及连接汽缸和第二板的作动杆。又在本专利技术中，提供一种化学机械研磨机的载具膜的预防保养方法，包括下列步骤首先，提供上述冲孔模具以及化学机械研磨机，化学机械研磨机具有研磨主轴、可拆装地设置于研磨主轴上的研磨载具，其中研磨载具具有复数个抽气孔、可拆装的导环以及载具膜，且载具膜上与抽气孔对应的复数个孔洞是由冲孔模具预先加工接着当化学机械研磨机需预防保养时，将研磨载具从研磨主轴上拆下；之后，将导环从研磨载具拆下且去除原有的载具膜后，对研磨载具进行清洁处理最后，将新的载具膜粘着在研磨载具上，将研磨载具安装至研磨主轴上。根据上述构成，可大幅缩减因预防保养而导致化学机械研磨机停机的时间，并可提高效率，简化预防保养程序。参考图4、5a、5b、5c、5d、6a、6b说明本专利技术的化学机械研磨机的载具膜的冲孔模具，其可用以在如图2c所示的载具膜上冲孔。如图4所示，本专利技术的冲孔模具200以一底座201、一平台202以及数个支杆203(在图中显示两个)作为基本框架，其包括一基座210、一第一板220、一第二板230、一汽缸240、数个导引杆250(在图中显示两个)、数个连结件260、一供气装置270、两控制钮280、一作动杆290。基座210设置于底座201上，在其中央部位设有一凹陷部211，如图5a所示，用以承载载具膜。第一板220具有数个导引孔221和四个第一穿孔222，如图5b所示，第一穿孔222可供导引杆250穿过，由此第一板220以可沿着导引杆250于一第一位置(如图4所示)和一第二位置(如图6b所示)之间移动的方式设置于基座210上，在此定义第一位置为闲置位置，即冲孔模具200未作动时第一板220所在的位置，而第二位置为第一板220与载具膜抵接时的位置。第二板230具有复数个冲头231和四个第二穿孔232，如图5d所示，各冲头231的位置分别与各导引孔221对应，且各第二穿孔282分别与第一穿孔222对应且可供导引杆250穿孔，此第二板230以可于一第三住置(如图4所示)和一第四位置(如图6b所示)之间移动的方式设置于基座210上，在此定义第三位置为闲置位置，即冲孔模具200未作动时第二板230所在的位置，而第四位置为第二板270的冲头231穿过第一板220的导引孔221而在载具膜上冲孔时的位置，此时第一板220位于第二位置。汽缸240设置于平台202上，且经由作动件290与第二板230连接，可用以移动第一板220和第二板230；导引杆250设置于基座210上，用以导引第一板220和第二板230移动。如图5c所示，在第一板220和第二板230两侧分别设有两连结件260，各连结伴260分别设有一开口261，用以供第一板220的第一导引件223和第二板230的第二导引件233设置于其中，以使第一板220和第二板230可相对移动。又，供气装置270经由一管路241与汽缸240连通，用以供应气体至汽缸240；两控制钮280分别经由一线路281与供气装置270电性连接，当两控制钮280被同时作动时，才可驱动供气装置270供应气体至汽缸240，由此可防止操作人员误触其中的一控制钮280即作动冲孔模具200。本专利技术的化学机械研磨机的载具膜的冲孔模具的构成如上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学机械研磨机的载具膜的冲孔模具，其特征在于，上述模具包括：一基座，用以承载该载具膜；一第一板，可于一第一位置和一第二位置之间移动的方式设置于该基座上，第一板位于第二位置时，该第一板抵接于该载具膜；一第二板，具有复数个冲头， 设置于该基座上可于一第三位置和一第四位置之间移动，第二板位于该第三位置时，该第一板位于该第一位置；第二板位于该第四位置时，该第一板位于该第二位置时，且该等冲头穿过该第一板在该载具膜上冲孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴万益，蔡明发，
申请(专利权)人：南亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]