磁性传感器和使用磁性传感器的磁性平衡式电流传感器制造技术

本发明专利技术提供一种能够抑制由固定电阻元件引起的AMR效应的发生的磁性传感器以及在环境温度产生了变化时能够得到十分稳定的输出特性的磁性平衡式电流传感器。本发明专利技术的磁性传感器的特征在于，由通过来自被测量电流的感应磁场的施加而使电阻值变化的磁性电阻效应元件和固定电阻元件构成，固定电阻元件具有介由反平行耦合膜(54)使第1强磁性膜(53)和第2强磁性膜(55)反强磁性地耦合而构成的自销止型的强磁性固定层，反平行耦合膜(54)是具有反强磁性耦合效应的第1峰值的厚度的Ru膜，第1强磁性膜(53)和第2强磁性膜(55)的磁化量的差实质上是零。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种磁性传感器和使用它的磁性平衡式电流传感器。
技术介绍
在电动汽车中，使用由发动机发电的电力来 驱动电动机，该电动机驱动用的电流的大小，例如通过电流传感器进行检测。作为该电流传感器，是在导体的周围配置有在一部分上具有切口(磁芯间隙)的磁芯并在该磁芯间隙内配置了磁性检测元件的传感器。作为电流传感器的磁性检测元件，使用包括磁化方向被固定的固定磁性层、非磁性层、以及磁化方向相对外部磁场进行变动的自由磁性层的层叠结构的磁性电阻效应元件(GMR元件、TMR元件)等。在这样的电流传感器中，由磁性电阻效应元件和固定电阻元件构成全桥式电路。在该情况下，公开了具有将磁性电阻效应元件的自由磁性层和非磁性层的层叠顺序进行改换的膜构成以及使用通过反强磁性材料来将强磁性层的磁化进行固定之类型的固定电阻元件(专利文献I、专利文献2)。通过这样的构成，能够使磁性电阻效应元件和固定电阻元件之间的电气电阻或者TCR(Temperature Coefficient Resistivity :电阻温度系数)均一致，即使环境温度变化，也能够得到某种程度稳定的输出特性。现有技术文献专利文献I :日本特开20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：井出洋介，斋藤正路，
申请(专利权)人：阿尔卑斯电气株式会社，
类型：发明
国别省市：