利用改进惯性元件的微机电磁场传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种微机电系统（MEMS）。所述MEMS包括：基底；从基底向上延伸的第一枢轴；第一杆件臂，其随着第一纵向轴线在基底之上延伸，且可枢转地安装到第一枢轴以绕第一枢转轴线枢转；第一电容器层，其在第一杆件臂的第一电容器部分之下的位置形成在基底上；第二电容器层，其在第一杆件臂的第二电容器部分之下的位置形成在基底上，其中第一枢轴在沿着第一纵向轴线的第一电容器部分和第二电容器部分之间的位置支撑着第一杆件臂；以及第一导体部件，其延伸经过第一纵向轴线，且与第一枢转轴线分隔开。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术通常涉及一种用于测量磁场强度和方向的装置，且更特别地，涉及一种改进以感测平面内磁场的惯性感测元件。
技术介绍
惯性感测和磁场感测用于多种不同的应用。此外，在使用微机电系统(MEMS)时包括惯性感测元件，总能不断找到新的应用情形，例如视频游戏和导航系统的附连装置，以测定附连装置的方向改变情况。MEMS以小型封装的方式为这些应用提供了便宜的解决方案。因此，许多基于MEMS的惯性感测元件可用于提高用于测定移动物体的方向加速度的灵敏 度。在现有技术中已经示出的是，使用测震质量块(其包括被布置为与固定电极相对的可动电极)可形成电容器。由于加速度矢量所产生的惯性力而使可动电极进行运动，从而导致电容变化。电容变化能被测量且和加速度相互关联。类似地，已知的多种传感器能将垂直磁场与可被测量的电气特性的变化相互关联，以测定磁场大小。但是，现有技术中提供的解决方案不是缺乏有效测量平行于传感器表面的磁场的必需灵敏度，就是缺乏测量垂直于传感器表面的加速度矢量的必需灵敏度。存在一种需要，即提供一种基于MEMS的传感器，以有效感测相切于传感器的磁场和感测垂直于传感器的加速度矢量。专利
技术实现思路
根据一个实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：PJ·陈，M·埃卡特，A·弗兰克，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：