金属蚀刻方法、金属蚀刻控制方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种金属蚀刻方法，包含下述步骤：对金属膜进行蚀刻并获取该金属膜的蚀刻终点时间；将所述蚀刻终点时间乘以一固定比例而得到所述金属膜的过蚀刻时间；对所述金属膜继续蚀刻所述过蚀刻时间，完成对所述金属膜进行的蚀刻。还公开了一种金属蚀刻控制方法及其装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：王静文，贺成明，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：