【技术实现步骤摘要】
本专利技术是基于FPA红外热成像的一种菲涅耳透镜光学读出系统。该读出系统针对目前成像系统结构过于庞大和复杂的问题,专利技术出的一种光学读出系统。此种系统可代替传统的光学读出系统进行成像,使得系统更加轻便,设计自由度更大,能够减小光学读出系统的像差,提高系统成像质量以及探测灵敏度。■
技术介绍
目前,非制冷红外成像技术光学读出方法发展迅速,新型的光学读出方法采用的焦平面阵列由双材料微悬臂梁组成,通过红外透镜的红外光被双材料微悬臂梁探测单元吸收后转化为热能,由于双材料的热致效应,微悬臂梁发生形变,该形变可以通过各种光学方法读出,从而得到被测热物体的温度分布及可见光图像。由于采用的微悬臂梁阵列制作简单,且不需要对每个单元设计并制作复杂的读出电路,因此该方法基本解决了电学读出方 法的诸多问题。相比于传统的电学读出方法,光学读出方法能够很好地实现探测单元与基底间的热隔离,对等量的热辐射具有更高的温升。目前常用的光学读出方法有原子显微镜(AFM)光学读出方法、干涉式读出方法、针孔滤波读出方法、光学衍射读出方法和改进的非相干空间滤波方法等等,下面简单介绍这几种光学读出方法。 ...
【技术保护点】
一种基于FPA非制冷红外热成像的菲涅耳透镜光学读出系统,其特征在于:该系统为MEMS红外热成像系统,系统由照明光路、焦平面阵列微悬臂梁FPA、红外透镜、菲涅尔透镜、光电探测器及显示器组成。
【技术特征摘要】
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