空气品质调整及换气风量的控制方法、换气风量控制系统技术方案

能够同时优化在制造环境等的大致封闭的环境内消耗能量和该环境内空气最佳品质的与空气品质调整及控制相关的空气品质调整控制方法、换气风量控制方法及换气风量控制系统。控制部（30）预先将FFU（风机过滤单元）（22）的最佳风量与配置在制造环境（24）内的制造装置（26）的运行状态建立关联。由功率传感器（12）及空气流量传感器（14）检测制造装置（26）的当前运行状态。控制部（30）将FFU（22）的换气风量切换为与检测出的运行状态预先建立了关联的最佳风量。最佳风量，是基于用于使制造装置在运行状态时达成目标空气洁净度的换气风量和以该换气风量运转FFU时的FFU的耗电量之间的关系预先决定的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及空气品质调整控制方法、换气风量控制方法及换气风量控制系统，特别涉及用于对制造环境等那样的大致封闭空间内部的空气品质进行调整的技术。
技术介绍
随着对产品的微细化或高精细化的要求，以电子行业、电气行业为首的很多的行业中，为了维持产品品质，需要构筑具有比一般环境更高等级的空气洁净度的制造环境。一般而言，将这样的制造环境称之为无尘室或无尘隔间等。一般而言，在无尘隔间或无尘室中，称之为FFU (Fan Filter Units :风机过滤单元)的换气装置例如基于风量、个数、配置等预先设计的条件而连续地运行。由此，维持制造环境的空气洁净度。下面，将“空气洁净度”简单地说明为“洁净度”。在专利文献I (日本特开2009 - 174776号公报)中记载有换气风量控制方法，其目的在于，通过实时检测粉状体的飞散情况来有效地进行粉状体的换气。具体而言，在粉状体的飞散量的测定结果处于目标浓度以上的情况下，计算目标时间内进行换气的风量。基于计算出的该风量来控制送风机及排风机。并且，在粉状体的飞散量的测定结果低于目标浓度的情况下，减少换气风量。另外，在专利文献2 (日本特开2010 — 255898号公报)中，公开了用于以低成本且容易减少无尘室的设备所使用的耗电量的送风控制模式作成装置。该装置具有用于获取无尘室的洁净度的单元、用于获取无尘室的风量的单元、用于基于获取的洁净度及风量来计算必要风量的单元、用于基于该必要风量来生成控制送风的模式数据的单元。另外，在专利文献3 (日本特开2005 — 98661号公报)中公开了这样的风量控制系统以确保无尘室的恰当的层流的方式，控制位于无尘室内的多个空气洁净器的风量，由此减低无尘室的运行成本。该系统具有基于生产装置的运行信息来控制每个空气洁净器的风量的控制单元。生产装置的运行信息是指，表示预定的生产装置的运行计划的信息和表示当前的生产装置的运行状况的信息中的至少一个信息。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2009 - 174776号公报专利文献2 :日本特开2010 - 255898号公报专利文献3 :日本特开2005 - 98661号公报根据专利文献I所记载的控制方法，在传感器检测出的粉状体浓度超过目标浓度(阈值)的情况下，通过增加送风机及排风机的转速来增加换气次数。然而，根据这样的控制，则例如在如下情况下制造环境有可能会污染成制造装置使用人员无法忍受的程度。首先，在尘埃(颗粒)的增加速度显著地大的情况下，存在尘埃的浓度大幅超过目标浓度的可能性。此时，即使增加换气次数，也难以立即降低尘埃浓度。另外，基于计测微粒子的特性，必须经过某一程度的延迟时间(例如I分钟)之后才能获取测定值。基于该测定值来生成用于变更换气风量的指令。因此，事实上，指令的生成产生延迟。并且，虽然根据该指令来变更换气风量，但还是会产生实际风量达到与指令相对应的风量为止的响应时间。并且，在专利文献I所记载的控制方法中，通过变更送风机及排风机的各自的变频器的频率来变更换气风量。虽然存在依赖于制造环境或设定等的可能性，但可想到还存在因这种变频器的频率变化导致制造装置的用户感到不舒适的可能性。例如在随着变频器的频率变化而导致变频器的动作声音发生变化的情况下，存在该动作音的变化使用户产生不舒适感的可能性。或者，还可想到因风量变化而使用户产生不舒适感的情况。这样的问题会成为妨碍将实时的换气风量的控制导入制造环境中的要因。并且，可想到存在因变频器的频率频繁变化而导致变频器的耗电量(特别是变频器的功率损失)增大的可能性。 并且，在测定值小于目标浓度的情况下，进行减少换气风量的节能运转。然而，例如存在因排气风量的减少而导致从外部进入无尘室的微粒子的数量增加的可能性。假设，在节能运转时尘埃浓度急剧上升的情况下，制造环境污染成制造装置的使用人员无法忍受的程度的可能性变高。并且，专利文献I的方法，是仅基于一个阈值来控制换气风量的方法。然而，难以将该阈值最佳地设定为能够同时优化耗能及制造环境的洁净度。将阈值设定得越低，则越能够期待可维持制造环境的高洁净度，但另一方面，因换气风量大的期间长而导致在制造环境中耗能增大。相反，将阈值设定得越高，则越能够期待抑制能量的消耗量，但另一方面，难以维持制造环境的高洁净度。在专利文献2中，公开了关于基于无尘室的洁净度和当前风量来控制风量的方案。然而，在专利文献2中，关于风量的控制和装置的当前的运行状况之间的关联性，未具体地公开。另外，在专利文献3中，公开了关于基于生产装置的运行状况(运行或停止)来控制风量的方案，但关于该运行状况和环境内耗能之间的关联性，未具体地公开。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题而做出的，其目的在于，提供一种空气品质的调整及控制相关的技术，能够同时优化在制造环境等这样的大致封闭的环境内消耗的能量和该环境内的空气最佳品质。根据一个技术方案，本专利技术是空气品质调整控制方法，该空气品质调整控制方法包括以下步骤获取配置在大致封闭的环境内的装置所消耗的能量，将用于对大致封闭的环境内的空气的品质进行调整的空气调整装置的调整量，与基于所获取的能量来决定的装置的运行状态，预先建立关联关系的步骤；对装置的当前的运行状态进行检测的步骤；将调整量切换为与检测出的运行状态预先建立了关联关系的最佳调整量的步骤。最佳调整量，是基于特定关系而预先决定的，特定关系是指，用于使装置在运行状态时达成目标空气品质的调整量和以该调整量来运转空气调整装置时的空气调整装置的耗电量之间的关系。根据另一技术方案，本专利技术是换气风量控制方法，该换气风量控制方法包括以下步骤获取配置在大致封闭的环境内的装置所消耗的能量，将用于对制造环境内进行换气的换气装置的最佳风量，与基于所获取的能量来决定的制造装置的运行状态，预先建立关联关系的步骤；对制造装置的当前的运行状态进行检测的步骤；将换气装置的换气风量切换为与检测出的运行状态预先建立了关联关系的最佳风量的步骤。最佳风量，是基于特定关系而预先决定的，特定关系是指，用于使制造装置在运行状态时达成目标空气洁净度的换气风量和以该换气风量运转换气装置时的换气装置的耗电量之间的关系。优选地，在建立关联关系的步骤中，基于单位期间内的能量的分布，来计算出用于对制造装置的运行状态进行分类的能量的候选阈值，由此使用候选阈值来对最佳风量和运行状态建立关联关系。优选地，能量是各制造装置所消耗的能量。优选地，能量是制造环境整体所消耗的能量。优选地，由控制装置控制制造装置。在对制造装置的当前的运行状态进行检测的步骤中，包括基于控制装置的控制状态来识别制造装置的当前的运行状态的步骤。 优选地，换气风量控制方法还包括以下步骤测定制造环境内的颗粒量的步骤；显示将换气风量切换为最佳风量之后的换气装置的耗电量相对于最大耗电量的降低率、测定出的颗粒量、颗粒量的时间序列数据的步骤；在用户有对换气风量的要求的情况下，将换气风量变更为与要求相对应的风量的步骤。优选地，换气风量控制方法还包括以下步骤测定制造环境内的颗粒量的步骤；在测定出的颗粒量偏离预先设定的范围的情况下，再次执行对制造装置的运行状态和最佳风量之间建立关联关系的处理的步骤。优选地，换气风量控制方法还包括以下步骤测定制造环境内的颗粒量的步骤；检测所测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空气品质调整控制方法，其特征在于，包括以下步骤：获取配置在大致封闭的环境内的装置所消耗的能量，将用于对所述大致封闭的环境内的空气的品质进行调整的空气调整装置的调整量，与基于所获取的能量来决定的所述装置的运行状态，预先建立关联关系的步骤，对所述装置的当前的运行状态进行检测的步骤，将所述调整量切换为与检测出的运行状态预先建立了关联关系的最佳调整量的步骤；所述最佳调整量，是基于特定关系而预先决定的，所述特定关系是指，用于使所述装置在所述运行状态时达成目标空气品质的所述调整量和以该调整量来运转所述空气调整装置时的所述空气调整装置的耗电量之间的关系。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高市隆一郎，八竹英纪，瓦谷诚一郎，吉田光志，宮口尚太，服部玲子，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：