用于调焦调平的连接机构制造技术

本实用新型专利技术的用于调焦调平的连接机构包括调整组件和辅助操作组件，调整组件包括调整螺杆、第一带齿螺母、调心座、调心球、防转销和第一锁紧螺母；第一带齿螺母套接在调整螺杆上；调心座、调心球和第一锁紧螺母均套接在调整螺杆上，调心球的一端为球面端，调心球的另一端为平面端，调心座与调心球的球面端连接，第一锁紧螺母与调心球的平面端连接；防转销的一端穿过调心座和调心球、与调整螺杆的外侧壁接触；辅助操作组件包括旋转轴、固定螺母、第二带齿螺母和第二锁紧螺母；固定螺母套接在旋转轴上，且与旋转轴连接；第二带齿螺母套接在旋转轴上，且与旋转轴固定连接；第二锁紧螺母套接在旋转轴上，且与旋转轴连接。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微电子装备，尤其涉及ー种用于调焦调平的连接机构。
技术介绍
图I所示为现有技术的连接机构，所述连接机构包括上连接件301、双螺纹连接套304和下连接件305，双螺纹连接套304有旋向相同且螺距不同的第一螺纹和第二螺纹，上连接件301有螺纹，上连接件301有螺纹，上连接杆301的螺纹与双螺纹连接套304的第一螺纹配合连接，下连接件305有螺纹，下连接杆305的螺纹与双螺纹连接套304的第二螺纹配合连接，上连接杆301有接ロ与主基板I固定连接，下连接杆305的一端插入调心座307和调心球308，调心座307与调心球308的球面配合，下连接杆305有接ロ与调焦调平传感器载板固定连接。通过两个锁紧螺母303和306以及双螺纹连接套304来调整调焦调平传感器载板2的位置，使调焦调平传感器的焦面与投影物镜的焦面重合。 调整现有技术的连接机构时，需要占用连接机构侧面较大的操作空间(横向空间)，不符合光刻机对空间约束日益严格的发展趋势，特别是，调焦调平传感器周围通常布置着微环境控制系统，从侧面进行操作会影响到周围的微环境控制系统；现有技术中，连接机构的上连接件与主基板I通过螺纹固定连接，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于调焦调平的连接机构，其特征在于，包括调整组件和设置于所述调整组件一侧的辅助操作组件，所述调整组件包括调整螺杆、第一带齿螺母、调心座、调心球、防转销和第一锁紧螺母；所述调整螺杆一端的外侧壁上设有第一外螺纹，所述调整螺杆另一端的外侧壁上设有第二外螺纹；所述第一带齿螺母套接在所述调整螺杆上且与所述第一外螺纹螺纹连接；所述调心座、调心球和第一锁紧螺母均套接在所述调整螺杆上，所述调心球的一端为球面端，所述调心球的另一端为平面端，所述调心座与所述调心球的球面端连接，所述第一锁紧螺母与所述调心球的平面端连接，且所述调心球和第一锁紧螺母与所述第二外螺纹螺纹连接；所述防转销的一端穿过所述调心座和调心球、...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李中秋，章富平，李志丹，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：