【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MEMS压力传感器，包括：相对的电极布置，其中，电极布置之一悬置在另一电极布置之上，使得该电极布置响应于施加的压力可移动；以及用于根据电极布置之间的电容导出输出的装置，其中下部电极布置包括由相同金属层形成的内电极(50)和外电极(52)，外电极绕内电极设置，其中下部电极布置设置在具有顶部金属互连层的集成电路之上，以及其中内电极和外电极通过一组垂直过孔电连接至下方的顶部金属互连层的连接部分。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：威廉·弗雷德里克·亚德里亚内斯·贝什林，克劳斯·莱曼，皮特·杰勒德·斯蒂内肯，奥拉夫·温尼克，雷奥特·沃尔特杰尔，
申请(专利权)人：NXP股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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