降能器及具备该降能器的带电粒子照射系统技术方案

本发明专利技术提供一种可调节带电粒子的能量的衰减量，并且可调节带电粒子束的射束束径扩大的降能器及具备降能器的带电粒子照射系统。在降能器（10）中，设为具备衰减材料（11）的结构，使入射至衰减材料的带电粒子减速来衰减能量。设置向第1轴线方向X驱动衰减材料（11）的能量调整用驱动构件，并改变带电粒子相对于第1衰减材料的入射位置，从而可调节带电粒子的衰减量。另外，设置向第2轴线方向Y驱动衰减材料（11）的射束束径调整用驱动构件，并改变衰减材料（11）在带电粒子束的前进方向上的位置，从而调节射束束径扩大。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：上田隆正，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：